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电子工厂化学品系统设计规范

编制工作大纲

一.编制依据

根据建设部《关于印发2〈007工程建设标准规范制定、修订计划第（二批）〉的通知》

建（标2（007）126号）和信息产业部《关于下达二〈OO七度电子工程建设标准定额制订修

订计划）的通知》信（规函2（007）18号）的文件精神，及200610月信息产业部电子工程标

准定额站在北京召开的2007度标准规范制修订计划工作会议，经主编单位专家和编写人员讨

论，初步确定该规范的编制工作大纲。

二.编制内容

本规范的编写将适用于集成电路/太阳能芯片生产厂、新型显示器件厂T（FT/PDPD高纯化

学品配送系统管道的设计、施工及验收。主要技术内容包括：高纯化学品含（研磨液）配送系统

设计，室内管道系统设计，品质在线侦测系统设计，有机溶剂间的防爆设计，气体、液体泄漏检

测设计，配套的通风、废气处理、纯水、工艺系统废液收集、电力、生命安全等支持系统设计，

土建设计以及上述设备、管道的施工及验收。

三.编制工作遵循的主要原则

1.积极吸收国内外电子工厂成熟的化学品系统设计的特点，参考欧美发达国家有关技术规

范与标准，注意鼓励新技术、新工艺、新设备、新材料的应用。

2.编写过程应以科学的态度总结芯片生产厂、新型显示器件系统等电子工厂化学品系统设

计、运行经验，较好地反映近来的建设成果和运行经验，做到既有前瞻性又有科学

性、实用性和可操作性。

3.严格按建设部[1996]626号《工程建设标准编写规定》和工《程建设标准出版印刷规

定》进行编写。编写工作阶段为准备阶段含（调研）、征求意见稿、送审稿、报批稿。

4.与现行国家标准、规范相协调。

5.以认真、缜密的态度从事调研和编写工作，按计划完成任务。

四.章节构成及分工

―（*）章节构成

1.总则

说（明：应包括本规范的编写目的，与其它标准规范的关系，应包括规范适范围，本

规范不包括化学品提纯工艺系统、不包括电子工厂废水、纯水、废气的化学品供应系统，只

包括生产工艺上使到的高纯化学品供应和回收系统，规范应重视新技术、节能和环保设备

的推广应的规定。）

2.术语

3.化学品配送系统（设计）

3.1一般规定

3.2设备要求

3.3管道设计

3.4管材与附件

（说明：采国际通的管材名称，如PFA、SS304L.SS316L等，可在条文说明中详细

说明管道材料的成分要求）。

3.5管道标识

说（明：应有化学品种类的标识颜色、字体、流向等规定）

4.化学品回收系统（设计）

4.1一般规定

4.2设备要求

4.3管道设计

4.4管材与附件

（说明：采国际通的管材名称，如CPVC,HDPE、碳钢衬PTFE等，可在条文说明中详

细说明管道材料的成分要求）。

4.5管道标识

说（明：应有化学品种类的标识颜色、字体、流向等规定）

5.监控及安全系统（设计）

说（明：应包括化学品连续不间断供应系统的监控措施，生命安全保障系统，含气体、液

体泄漏环境保护和检测系统、消防疏散、地震等紧急情况等安全设施的规定）

5.1一般规定

5.2设备要求

5.3系统要求

5.4仪表与配件

6.相关专业

6.1一般规定

本节应包括：

1）包括化学品存放的一般规定，临时存放一般规定，集中存放在化学品库房时应执行现

行建筑设防火计规范中的相关条文。

2）在总图规划上化学品配送设备间、临时化学品储存间、电气控制间的位置规