透射电子显微分析.ppt

关于透射电子显微分析第1页，共35页，星期日，2025年，2月5日电子显微分析方法的种类透射电子显微镜(TEM)可简称透射电镜扫描电子显微镜(SEM)可简称扫描电镜电子探针X射线显微分析仪简称电子探针(EPA或EPMA)：波谱仪(波长色散谱仪，WDS)与能谱仪(能量色散谱仪，EDS)电子激发俄歇电子能谱(XAES或AES)第2页，共35页，星期日，2025年，2月5日透射电子显微镜（简称透射电镜，TEM），可以以几种不同的形式出现，如：高分辨电镜（HRTEM）透射扫描电镜（STEM）分析型电镜（AEM）等等。入射电子束（照明束）也有两种主要形式：平行束：透射电镜成像及衍射会聚束：扫描透射电镜成像、微分析及微衍射。TEM的形式第3页，共35页，星期日，2025年，2月5日第一节透射电子显微镜工作原理及构造一、工作原理成像原理与光学显微镜类似。它们的根本不同点在于光学显微镜以可见光作照明束，透射电子显微镜则以电子为照明束。在光学显微镜中将可见光聚焦成像的是玻璃透镜，在电子显微镜中相应的为磁透镜。由于电子波长极短，同时与物质作用遵从布拉格（Bragg）方程，产生衍射现象，使得透射电镜自身在具有高的像分辨本领的同时兼有结构分析的功能。第4页，共35页，星期日，2025年，2月5日图9-2透射电子显微镜光路原理图第5页，共35页，星期日，2025年，2月5日二、构造TEM由照明系统、成像系统、记录系统、真空系统和电器系统组成。第6页，共35页，星期日，2025年，2月5日1.电磁透镜能使电子束聚焦的装置称为电子透镜（electronlens）静电透镜电子透镜恒磁透镜磁透镜电磁透镜第7页，共35页，星期日，2025年，2月5日（1）电磁透镜的结构图9-3电磁透镜结构示意图第8页，共35页，星期日，2025年，2月5日（2）电磁透镜的光学性质（9-1）式中：u、v与f——物距、像距与焦距。（9-2）式中：V0——电子加速电压；R——透镜半径；NI——激磁线圈安匝数；A——与透镜结构有关的比例常数。第9页，共35页，星期日，2025年，2月5日成像电子在电磁透镜磁场中沿螺旋线轨迹运动，而可见光是以折线形式穿过玻璃透镜。因此，电磁透镜成像时有一附加的旋转角度，称为磁转角?。物与像的相对位向对实像为180???，对虚像为?。电磁透镜是一种焦距(或放大倍数)可调的会聚透镜。减小激磁电流，可使电磁透镜磁场强度降低、焦距变长(由f1变为f2）。第10页，共35页，星期日，2025年，2月5日（3）电磁透镜的分辨本领（9-3）式中：A——常数；?——照明电子束波长；Cs——透镜球差系数。?r0的典型值约为0.25~0.3nm，高分辨条件下，?r0可达约0.15nm。第11页，共35页，星期日，2025年，2月5日2.照明系统作用：提供亮度高、相干性好、束流稳定的照明电子束。组成：电子枪和聚光镜钨丝热电子源电子源LaB6场发射源第12页，共35页，星期日，2025年，2月5日图9-5热电子枪示意图灯丝和阳极间加高压，栅极偏压起会聚电子束的作用，使其形成直径为d0、会聚/发散角为?0的交叉第13页，共35页，星期日，2025年，2月5日图9-6双聚光镜照明系统光路图第14页，共35页，星期日，2025年，2月5日3.成像系统由物镜、中间镜(1、2个)和投影镜(1、2个)组成。成像系统的两个基本操作是将衍射花样或图像投影到荧光屏上。通过调整中间镜的透镜电流，使中间镜的物平面与物镜的背焦面重合，可在荧光屏上得到衍射花样。若使中间镜的物平面与物镜的像平面重合则得到显微像。透射电镜分辨率的高低主要取决于物镜。