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除了迈克尔逊干涉和Linnik型干涉外,常见的干涉设计还有哪些?
除了迈克尔逊干涉和Linnik型干涉外,常见的干涉设计还有多种,以下是一些
主要的类型:
马赫-增德尔(Mach-Zehnder)干涉:
原理:通过分束器将一束光分成两束,这两束光分别在不同的路径中传播,然后
再通过另一个分束器重新组合。由于两束光在传播过程中可能经历不同的光程,
因此会产生干涉现象。
应用:马赫-增德尔干涉仪常用于透射样本的测量,如生物样本、全息术等。
法布里-珀罗(Fabry-Perot)干涉:
原理:当一束光在两个平行且部分透射的反射面之间多次反射和透射时,会形成
多束相干光波的叠加,从而产生干涉现象。
应用:法布里-珀罗干涉仪常用于测量光波长、光学元件的厚度和折射率等。
萨格纳克(Sagnac)干涉:
原理:当一束光在环形路径上反射后,会形成两个相反方向的干涉。干涉光强取
决于光波的波长和环形路径的长度。
应用:萨格纳克干涉仪常用于测量旋转速率,是光纤陀螺仪的核心部件,广泛应
用于民用、军用飞机以及导弹导航等领域。
Mirau干涉:
特点:Mirau干涉仪通常具有一个物镜和一个参考镜,它们共同构成一个干涉系
统。物镜用于聚焦被测物体表面的反射光,而参考镜则提供一个稳定的参考光波。
应用:Mirau干涉仪常用于表面形貌的测量,如光学元件的表面质量、薄膜的厚
度和均匀性等。
外差干涉:
原理:外差干涉是一种利用多普勒移频效应使光的频率发生轻微改变,再与原来
频率的光相干,从而得到的差频干涉光拍信号的技术。
应用:外差干涉技术具有测量精度高、抗干扰能力强等优点,常用于震动测量、
面型测量等高精度测量领域。
白光干涉:
原理:白光干涉是利用白光作为光源进行干涉测量的技术。由于白光包含多种波
长的光波,因此干涉条纹会呈现出彩色。通过分析干涉条纹的颜色和形状,可以
获取被测物体的表面形貌和位移信息。
应用:白光干涉技术具有非接触式测量、测量范围广、测量精度高等优点,常用
于光学元件的检测、表面粗糙度的测量以及三维形貌的重建等领域。
综上所述,干涉技术具有广泛的应用领域和重要的研究价值。不同类型的干涉设
计具有不同的原理和特点,适用于不同的测量需求和场景。
TopMapMicroView白光干涉3D轮廓仪
一款可以“实时”动态/静态微纳级3D轮廓测量的白光干涉仪
1)一改传统白光干涉操作复杂的问题,实现一键智能聚焦扫描,亚纳米精度下实
现卓越的重复性表现。
2)系统集成CST连续扫描技术,Z向测量范围高达100mm,不受物镜放大倍率
的影响的高精度垂直分辨率,为复杂形貌测量提供全面解决方案。
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实际案例
1,优于1nm分辨率,轻松测量硅片表面粗糙度测量,Ra=0.7nm
2,毫米级视野,实现5nm-有机油膜厚度扫描
3,卓越的“高深宽比”测量能力,实现光刻图形凹槽深度和开口宽度测量。
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