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激光面型干涉仪和白光干涉仪的区别

激光面型干涉仪和白光干涉仪都是基于干涉原理的光学测量仪器，但它们在光源、

干涉条纹、测量范围、稳定性以及应用领域等方面存在显著的差异。以下是对这

两种仪器的详细比较：

一、光源

激光面型干涉仪：通常采用单频、稳定输出的激光器作为光源，如氦氖激光器，

提供连续且波长已知的激光束。

白光干涉仪：使用白色光源，白光属于多色光，具有连续的光谱。

二、干涉条纹

激光面型干涉仪：由于激光的单色性好，相干性强，因此干涉时主要形成黑白的

干涉条纹。

白光干涉仪：由于光源包含多种波长的光波，干涉时会形成彩色的干涉条纹。

三、测量范围与精度

激光面型干涉仪：激光具有高强度和相干性好的特点，因此激光面型干涉仪可以

用于高精度的微小尺寸测量，如纳米级的薄膜厚度测量和平面度测量。

白光干涉仪：白光干涉仪则更加适合于表面形貌的大范围测量，如飞机发动机叶

片的表面形貌测量、飞机机身的表面平整度检测等。同时，白光干涉仪也能提供

较高的测量精度，但相对于激光面型干涉仪，其测量范围更广。

四、稳定性

激光面型干涉仪：激光干涉仪在干涉时需要保持激光光源的稳定性，以保证干涉

条纹的清晰度。因此，激光面型干涉仪对光源的稳定性要求较高。

白光干涉仪：相对于激光面型干涉仪，白光干涉仪对光源的稳定性要求不那么严

格。

五、应用领域

激光面型干涉仪：主要用于光学元件和平面的平面度、平整度、厚度、微小位移

等精密几何参数的测量。广泛应用于光学元件制造业、精密机械加工、半导体工

业、航空航天等领域。

白光干涉仪：除了可以用于测量物体表面形貌、薄膜厚度等参数外，还可以用于

材料科学、生物医学等领域的研究。如细胞及组织的三维重建、血液流动速度的

测量等。

综上所述，激光面型干涉仪和白光干涉仪在光源、干涉条纹、测量范围与精度、

稳定性以及应用领域等方面存在显著差异。选择哪种仪器取决于具体的测量需求

和应用场景。

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