电容式传感器原理和应用.pptVIP

低频时，传感器电容的阻抗非常大，L和Rs的影响可忽略；等效电容Ce=C0+Cp；等效电阻Re≈Rg。低频等效电路如下图所示。高频时，电容的阻抗变小，L和Rs的影响不可忽略，漏电的影响可忽略，其中Ce=C0+Cp，而Re≈Rs。高频等效电路如下图所示。图4-9低频等效电路 图4-10高频等效电路4.3特点及应用中存在的问题此时电容传感器的等效灵敏度为在这种情况下，每当改变激励频率或者更换传输电缆时都必须对测量系统重新进行标定。根据高频等效电路，由于电容传感器电容量一般都很小，电源频率即使采用几兆赫，容抗仍很大，而Rg和Rs很小可以忽略，因此：当电容式传感器的供电电源频率较高时，传感器的灵敏度由kg变为ke，ke与传感器的固有电感(包括电缆电感)有关，且随ω变化而变化。010203044.3特点及应用中存在的问题1以上分析各种电容式传感器时还忽略了边缘效应的影响。2实际上当极板厚度h与极距d之比相对较大时，边缘效应的影响就不能忽略。这时对极板半径为r的变极距型电容传感器，其电容值应按下式计算：3边缘效应不仅使电容传感器的灵敏度降低，而且产生非线性。边缘效应4.3特点及应用中存在的问题4.3特点及应用中存在的问题为了消除边缘效应的影响，可以采用带有保护环的结构，如下图所示。保护环与定极板同心、电气上绝缘且间隙越小越好，同时始终保持等电位，以保证中间工作区得到均匀的场强分布，从而克服边缘效应的影响。为减小极板厚度，往往不用整块金属板做极板，而用石英或陶瓷等非金属材料，蒸涂一薄层金属作为极板。图4-11带有保护环的电容传感器原理图010201023．静电引力环境温度的变化将改变电容传感器的输出相对被测输入量的单值函数关系，从而引入温度干扰误差。这种影响主要有两个方面：电容式传感器两极板间存在静电场，因而有静电引力或力矩。静电引力的大小与极板间的工作电压、介电常数、极间距离有关。通常这种静电引力很小，但在采用推动力很小的弹性敏感元件情况下，须考虑因静电引力造成的测量误差。4．温度影响4.3特点及应用中存在的问题电容传感器由于极间隙很小而对结构尺寸的变化特别敏感。在传感器各零件材料线胀系数不匹配的情况下，温度变化将导致极间隙较大的相对变化，从而产生很大的温度误差。在设计电容式传感器时，适当选择材料及有关结构参数，可以满足温度误差补偿要求。温度对结构尺寸的影响温度对介电常数的影响随介质不同而异，空气及云母的介电常数温度系数近似为零；而某些液体介质，如硅油、煤油等，其介电常数的温度系数较大。温度对介质的影响4.3特点及应用中存在的问题4.4电容式传感器的测量电路电容式传感器中电容值以及电容变化值都十分微小，这样微小的电容量还不能直接被目前的显示仪表显示，也很难被记录仪接受，不便于传输。必须借助测量电路检出这一微小电容增量，并将其转换成与其成单值函数关系的电压、电流或者频率。电容转换电路有调频电路、运算放大器式电路、二极管双T型交流电桥、脉冲宽度调制电路等。调频测量电路把电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分。当输入量导致电容量发生变化时，振荡器的振荡频率就发生变化。01虽然可将频率作为测量系统的输出量，用以判断被测非电量的大小，但此时系统是非线性的，不易校正，因此加入鉴频器，用此鉴频器可调整地非线性特性去补偿其他部分的非线性，并将频率的变化转换为振幅的变化，经过放大就可以用仪器指示或记录仪记录下来。02调频测量电路原理框图如下图所示，Cx为电容变换器。034.4.1调频测量电路4.4电容式传感器的测量电路4.4电容式传感器的测量电路图中调频振荡器的振荡频率为式中：L0——振荡回路的电感；C——振荡回路的总电容，。其中，C1为振荡回路固有电容；C2为传感器引线分布电容；而为传感器的电容。图4-12调频式测量电路原理框图当被测信号为0时，ΔC=0，则，所以振荡器有一个固有频率：当被测信号不为0时，ΔC≠0，振荡器频率有相应变化，此时频率为：调频电容传感器测量电路具有较高灵敏度，可以测至0.01μm级位移变化量。信号输出易于用数字仪器测量和与计算机通讯，抗干扰能力强，可以发送、接收以实现遥测遥控。0102034.4电容式传感器的测量电路4.4.2运算放大器式电路4.4电容式传感器的测量电路运算放大器的放大倍数K非常大，而且输入阻抗Zi