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一种可灵活配置的机械手晶圆定心装置

1引言

AWC功能通常每个工位使用一组（1～2个）传感器，机械手

在执行GOTO指令的过程中，当传感器检测到有晶圆出入时，会

立刻采集伺服轴位置数据并锁存，根据采集到的数据计算出晶圆

圆心与机械手手指中心的偏差。在机械手伸展到位的同时，R轴

和T轴会自动对该偏差矢量进行补偿处理，实现自动纠偏，直到

偏差消除后GOTO指令结束，保证了晶圆被准确的传送到目标工

位。

目前半导体行业中应用的机械手都是通过运动控制卡或伺

服驱动器本身具有的高速输入采集电路来完成AWC传感器信号

的高速采集功能。该功能需要使用运动控制卡或伺服驱动器的高

速输入信号采集电路，当传感器扫到晶圆的边沿时通过高速输入

电路来锁存当前机器人伺服轴的位置值。机械手在到达工位并完

成晶圆定心操作后，还要与半导体工艺设备进行IO互锁操作，

以保证传输晶圆安全。

2系统设计

2.1需求分析

半导体生产商对AWC功能支持的工位数需求从1工位到8工

位甚至更多，而AWC应用每个工位需要2路高速输入信号，为满

足全部半导体生产商的需求，机械手的AWC信号采集电路至少要

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满足8工位需求，即16路高速输入采集电路。

而在实际应用中，大部分的半导体生厂商用不到8工位AWC

功能，这就会造成机械手硬件资源的浪费，且使机械手的成本增

加。而且当生产工艺发生改变时，如果AWC功能及IO互锁功能

需要调整，这样就需要更改机械手与半导体工艺设备间的互联电

缆，且需要大量的时间来对设计更改进行调试，造成人力物力上

的浪费。

所以需要设计一种集成AWC采集电路及IO互锁电路的可灵

活配置的机械手晶圆定心装置。该装置可有效对AWC硬件资源进

行灵活分配，避免由于工艺改进、设备升级等原因所引起的人力、

物力及时间上的资源浪费。

2.2总体方案设计

整个装置主要由图1中框图部分电路组成：

将用于AWC功能的高速输入信号与IO互锁信号全部接入本

装置，省略IO采集卡。将IO互锁信号中的输入部分采集电路全

部通过与AWC高速输入电路一样的电路实现，并将二者的采集电

路全部接入FPGA，不明确区分AWC电路及IO输入电路，默认全

部

为高速输入电路。用户通过上位计算机将需要的AWC工位应

用信息及IO互锁信息生成配置文件，并通过通讯总线下发给本

装置。本装置中的嵌入式CPU模块读取配置文件并存储在非易失

性存储器中。系统上电后，本装置会自动进行初始化操作，在这

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个操作过程中嵌入式CPU模块会将存储在非易失性存储器中配

置文件读出，并根据配置文件对FPGA内部的管理输入及输出信

号的寄存器进行配置，配置后寄存器可灵活的将所有高速输入信

号配置成AWC功能或IO互锁功能。如有工艺升级或设备升级等

需要改动AWC功能或IO互锁功能的情况时，只需重新通过上位

机生成配置文件并下发给本装置即可完成AWC及IO互锁功能的

再配置。

嵌入式CPU模块做为整个装置的处理核心，选用TI公司