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MEMS的主要材料及其性能参数

一、主题/概述

二、主要内容（分项列出）

1.小MEMS的主要材料

硅

氮化硅

聚合物

其他材料

2.编号或项目符号

聚合物：轻质、柔韧，易于加工，适用于柔性MEMS器件。

其他材料：如金刚石、金属等，具有特殊性能，适用于特定应用。

3.详细解释

三、摘要或结论

本文对MEMS的主要材料及其性能参数进行了探讨。硅、氮化硅、聚合物等材料在MEMS中具有广泛应用，其性能参数对MEMS的性能和可靠性至关重要。了解和掌握这些材料的特点和性能，有助于MEMS的设计和应用。

四、问题与反思

①MEMS材料的选择对器件性能有何影响？

②如何优化MEMS材料的性能？

③MEMS材料在高温环境下的稳定性如何？

[1]，.微机电系统[M].北京：科学出版社，2010.

[2]，赵六.MEMS材料与器件[M].上海：上海交通大学出版社，2015.

[3]网络资源：/