《真空卷绕镀膜设备通用技术要求》征求意见稿.pdf

ICS23.160

CCSJ78

TGVS

团体标准

T/GVSXXX—2022

真空卷绕镀膜设备通用技术要求

Genericspecificationforvacuumroll-to-rollcoatingplant

2022-XX-XX发布2022-XX-XX实施

广东省真空学会发布

T/GVSXXX—2022

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由广东腾胜科技创新有限公司提出。

本文件由广东省真空学会归口。

本文件起草单位：广东腾胜科技创新有限公司、中山凯旋真空科技股份有限公司、广东生波尔光电

技术有限公司、XXX、XXX。

本文件主要起草人：朱刚毅、杨容军、孔令镇、陈家发、胡湘娥、吴洽、姜翠宁、徐从高、XXX、

XXX。

本文件为首次发布。

II

T/GVSXXX—2022

真空卷绕镀膜设备通用技术要求

1范围

本文件规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规

则、标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空等离子体增强化学气相沉

积（PEPVD）卷绕镀膜设备。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T3103.2紧固件公差用于精密机械的螺栓，螺钉和螺母

GB4824—2019工业、科学和医疗设备射频骚扰特性限值和测量方法

GB/T6070真空技术法兰尺寸

GB/T11164—2011真空镀膜设备通用技术条件

GB/T13306标牌

GB/T13384机电产品包装通用技术条件

GB/T13547工作空间人体尺寸

GB/T17626.3电磁兼容试验和测量技术射频电磁场辐射抗扰度试验

GB/T21067工业机械电气设备电磁兼容通用抗扰度要求

GB/T24612.1电气设备应用场所的安全要求第1部分：总则

GB/T30242磁电式速度传感器通用技术条件

GB/T32292真空技术磁流体动密封件通用技术条件

JB/T8945—2010真空溅射镀膜设备

JB/T10463真空磁流体动密封件

QJ2965氟橡胶密封超高真空法兰规范

T/GVS001—2021真空镀膜设备电磁兼容屏蔽与辐射安全技术规范

3术语和定义

GB/T11164界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

真空卷绕镀膜设备vacuumroll-to-rollcoatingplant

在真空状态下基材以卷对卷方式制取膜层的设备。

真空蒸发卷绕镀膜设备vacuumevaporationroll-to-rollcoatingplant

借助于蒸发以卷对卷方式进行真空镀膜的设备。

真空磁控溅射卷绕镀膜设备vacuumsputteringroll-to-rollcoatingplant

借助于磁控溅射以卷对卷方式进行真空镀膜的设备。

真空等离子体增强化学气相沉积卷绕