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一种可灵活配置的机械手晶圆定心装置

摘要：在半导体行业中，各腔室之间或工位之间通

常使用机械手来完成晶圆的传送。在晶圆传输系统中，为避

免取片时偏位或晶圆破损等客观因素的发生，提高晶圆取放

的准确度，需要设计并使用AWC（ActiveWaferCentering）

晶圆自动定心功能来进行检测与校正。本文总结了半导体厂

商对AWC功能的不同需求，设计了一种通过上位机软件灵活

配置AWC功能的机械手晶圆定心装置，可有效解决AWC硬

件资源的浪费及更改互联电缆所造成的人力物力上的浪费

问题。

【关键词】AWC功能腔室半导体

1引言

AWC功能通常每个工位使用一组（1～2个）传感器，

机械手在执行GOTO指令的过程中，当传感器检测到有晶圆

出入时，会立刻采集伺服轴位置数据并锁存，根据采集到的

数据计算出晶圆圆心与机械手手指中心的偏差。在机械手伸

展到位的同时，R轴和T轴会自动对该偏差矢量进行补偿处

理，实现自动纠偏，直到偏差消除后GOTO指令结束，保证

了晶圆被准确的传送到目标工位。

目前半导体行业中应用的机械手都是通过运动控制卡

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或伺服驱动器本身具有的高速输入采集电路来完成AWC传

感器信号的高速采集功能。该功能需要使用运动控制卡或伺

服驱动器的高速输入信号采集电路，当传感器扫到晶圆的边

沿时通过高速输入电路来锁存当前机器人伺服轴的位置值。

机械手在到达工位并完成晶圆定心操作后，还要与半导体工

艺设备进行IO互锁操作，以保证传输晶圆安全。

2系统设计

2.1需求分析

半导体生产商对AWC功能支持的工位数需求从1工位

到8工位甚至更多，而AWC应用每个工位需要2路高速输

入信号，为满足全部半导体生产商的需求，机械手的AWC

信号采集电路至少要满足8工位需求，即16路高速输入采

集电路。

而在实际应用中，大部分的半导体生厂商用不到8工位

AWC功能，这就会造成机械手硬件资源的浪费，且使机械手

的成本增加。而且当生产工艺发生改变时，如果AWC功能及

IO互锁功能需要调整，这样就需要更改机械手与半导体工艺

设备间的互联电缆，且需要大量的时间来对设计更改进行调

试，造成人力物力上的浪费。

所以需要设计一种集成AWC采集电路及IO互锁电路的

可灵活配置的机械手晶圆定心装置。该装置可有效对AWC

硬件资源进行灵活分配，避免由于工艺改进、设备升级等原

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因所引起的人力、物力及时间上的资源浪费。

2.2总体方案设计

整个装置主要由图1中框图部分电路组成：

将用于AWC功能的高速输入信号与IO互锁信号全部接

入本装置，省略IO采集卡。将IO互锁信号中的输入部分采

集电路全部通过与AWC高速输入电路一样的电路实现，并将

二者的采集电路全部接入FPGA，不明确区分AWC电路及IO

输入电路，默认全部

为高速输入电路。用户通过上位计算机将需要的AWC

工位应用信息及IO互锁信息生成配置文件，并通过通讯总