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320mm口径变频干涉系统准直光：获取、评价与优化

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学测量领域，320mm口径变频干涉系统凭借其独特的优势，占据着极为重要的地位。该系统能够实现高精度的光学测量，在光学元件检测、天文观测、精密制造等诸多领域都发挥着关键作用。随着科学技术的不断进步，对光学测量精度的要求日益提高，这使得320mm口径变频干涉系统面临着更高的挑战与机遇。

准直光作为该干涉系统的核心要素之一，其获取与评价对系统性能有着至关重要的影响。准直光的质量直接决定了干涉条纹的清晰度和稳定性，进而影响测量的精度和可靠性。在光学元件检测中，若准直光存在偏差，可能导致对光学元件表面形貌