薄膜深度剖析定量分析软件的开发.pdfVIP

第62卷第1期真空VACUUMVol.62，No.1

2025年1月Jan.2025

薄膜深度剖析定量分析软件的开发*

陆美杰，郑梓宏，高伟楠，郑浩梽，刘恭文，连松友，徐荣网，王江涌12231141，4

（1.汕头大学理学院物理系，广东汕头515063；2.汕头大学数学与计算机学院计算机系，广东汕头515063；

3.汕头大学长江艺术学院艺术设计学系，广东汕头515063；4.书豪仪器科技有限公司，江苏昆山215343）

摘要：溅射深度剖析技术广泛应用于薄膜材料的元素成分分析中，但溅射过程的复杂性、样品表面

形态的多样性等因素都可能对剖析的准确性造成干扰。针对此问题本文首先简要介绍了薄膜深度剖

析技术，随后深入讨论了定量分析的物理原理，探讨了为实现高精度测量而对定量分析方法进行的改

进和扩展，并开发了一款基于C#语言的深度剖析定量分析软件，详细介绍了软件各模块，最后展示了利

用C#语言所编写软件的具体实现。该软件采用MRI模型，集成了深度剖析数据的转换、卷积和反卷积

功能，能够对SIMS、AES和XPS等微区分析技术的数据进行定量分析，通过优化算法实现了高精度的深

度分辨率函数计算。用户可以通过直观的界面输入实验数据，软件将自动进行数据处理并生成可视化

结果。该软件为普通用户提供了一种便捷、高效的工具，显著提升了薄膜深度剖析定量分析的可操作

性和准确性。

关键词：深度剖析；MRI模型；卷积；反卷积；软件

中图分类号：O484.2；TP391.9文献标识码：A文章编号：1002-0322（2025）01-0037-07

doi：10.13385/j.cnki.vacuum.2025.01.06

DevelopmentofQuantitativeAnalysisSoftwareforFilmDepthProfiling

LUMeijie,ZHENGZihong,GAOWeinan,ZHENGHaozhi,LIUGongwen,LIANSongyou,122311

XURongwang,WANGJiangyong41,4

（1.DepartmentofPhysics,CollegeofScience,ShantouUniversity,Shantou515063,China;2.Departmentof

ComputerScience,SchoolofMathematicsandComputerScience,ShantouUniversity,Shantou515063,China;

3.DepartmentofArtDesign,CheungKongInstituteoftheArts,ShantouUniversity,Shantou515063,China;

4.ShuhaoInstrumentTechnologyCo.,Ltd.,Kunshan215343,China）

Abstract：Sputterdepthprofilinghasbeenwidelyusedtocharacterizethedepthdistributionofelementsinthinfilms.However,

thecomplexsputteringprocessinvolvedandthediversityofsamplemorphologymayinterferewiththeaccuracyofanalysis.Aiming

attheproblem,thethinfilmsdepthprofilingisbriefl