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ICS29.020
CCSL95
团体标准
T/YGAZXHXXXX—XXXX
光伏电池工艺设备等离子体增强化学气
相沉积（PECVD）镀膜设备技术规范
Photovoltaiccellprocessequipment—Technicalspecificationfor
plasmaenhancedchemicalvapordeposition(PECVD)coatingequipment
（征求意见稿）
2025.3.19
（本草案完成时间：）
在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。
XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施
广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会发布
T/YGAZXHXXXX—XXXX
目次
前言II
1范围1
2规范性引用文件1
3术语和定义1
4工作环境和工作条件1
5技术要求2
5.1外观及结构2
5.2整机性能2
5.3工艺性能3
5.4自动化4
5.5安全4
6试验方法5
6.1外观及结构5
6.2整机性能5
6.3工艺性能6
6.4自动化8
6.5安全9
7检验规则10
7.1检验分类10
7.2出厂检验10
7.3型式检验10
8标志、包装、运输和贮存10
8.1标志10
8.2包装11
8.3运输11
8.4贮存11
表1温度控制2
表2压力控制2
表3漏气率2
表1碎片率3
表2膜厚均匀性3
表3叠层膜整体膜厚均匀性3
表4高温工艺单层膜厚均匀性4
表5折射率均匀性4
表6整片自动化4
表7出厂检验10
I
T/YGAZXHXXXX—XXXX
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由拉普拉斯新能源科技股份有限公司提出。
本文件由广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会归口。
本文件起草单位：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
本文件主要起草人：
II
T/YGAZXHXXXX—XXXX
光伏电池工艺设备等离子体增强化学气相沉积（PECVD）镀膜设备
技术规范
1范围
本文件给出了等离子体增强化学气相沉积（PECVD）镀膜设备（以下简称“PECVD镀膜设备”）工作
环境和工作条件，规定了技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
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