2024年份6月半导体光刻工艺认证洁净度控制规范.pdf

2025半导体光刻工艺认证洁净度控制规范

本合同共二部分组成，仅供学习使用，第一部分如下：

第一条合同目的

本合同的目的是明确双方在半导体光刻工艺认证过程中对洁净度

控制的技术要求、责任划分、实施流程及验收标准，确保工艺环境达

到___________（具体洁净度等级，如ISO146441ClassX）标准。

第二条定义与术语

2.1“洁净度控制”指在半导体光刻工艺环境中，通过空气过滤、

温湿度调节、微粒监测等手段维持特定洁净等级的技术措施。

2.2“认证周期”指自___________（起始日期）至___________

（终止日期）的期间，乙方需完成洁净度控制系统的设计、安装、调

试及验收。

2.3“关键控制点”指洁净度控制系统中直接影响工艺质量的环

节，包括但不限于___________（列举如空气流速、压差、悬浮粒子浓

度等）。

第三条服务范围

（1）洁净室布局设计与施工；

（2）高效空气过滤系统（HEPA/ULPA）的安装与调试；

（3）实时微粒监测设备的配置与数据采集；

（4）温湿度控制系统的集成与校准。

3.2乙方应提供系统操作培训，培训对象为甲方指定的

___________（岗位名称或人员数量）。

第四条洁净度标准

4.1洁净室静态条件下，悬浮粒子浓度应符合___________（标准

名称及等级）；动态条件下，粒子浓度波动范围不得超过静态值的

___________%。

4.2空气流速均匀性偏差应控制在___________%以内，压差梯度

需维持___________Pa至___________Pa。

4.3温湿度控制精度为温度___________℃±___________℃，相

对湿度___________%±___________%。

第五条设备与材料要求

5.1乙方采用的空气过滤设备需符合___________（标准编号），

并提供设备出厂检验报告及第三方认证证书。

5.2监测设备应具备实时数据传输功能，数据存储周期不少于

___________（天数），采样频率不低于___________次/分钟。

5.3所有材料应出具无化学污染物释放证明，且符合___________

（行业标准或法规名称）。

第六条人员资质

6.1乙方项目实施团队须包含至少___________名具有

___________（认证名称，如洁净室工程师）资质的专业人员。

6.2关键岗位操作人员需持有___________（证书名称），并提供

近___________年内的培训记录。

第七条验收标准与方法

7.1洁净度验收分为初步验收与最终验收两个阶段：

（1）初步验收：系统安装完成后___________日内，甲方对设备

安装完整性及基础功能进行确认；

（2）最终验收：系统连续稳定运行___________日后，甲方委托

___________（第三方检测机构名称）进行全项检测。

7.2检测方法依据___________（标准名称），检测点数量不少于

___________个/百平方米，检测报告需加盖CMA/CNAS认证章。

第八条验收不合格处理

8.1若检测结果未达到本合同第四条要求，乙方应在___________

日内完成整改并重新提交验收申请。

8.2重新检测费用由___________（责任方）承担；若累计整改次

数超过___________次，甲方有权终止合同并要求赔偿。

第九条付款方式

9.1本合同总金额为人民币___________元（大写：

___________），分阶段支付：

（1）合同签订后___________日内，甲方支付合同总额的

___________%；

（2）初步验收合格后___________日内，支付合同总额的

___________%；

（3）最终验收通过且质保期满后___________日内，支付尾款

___________%。

9.2乙方需在付款前开具合法有效的___________（发票类型）发

票。

第十条保密义务

10.