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微机电系统工程专业毕业论文
微机电系统工程专业毕业论文
摘要
本文旨在探讨微机电系统（MEMS）工程的发展背景、研究目的及其重要性，并综述国内外
的研究现状。通过对现有文献的深入分析，揭示了MEMS技术在多个领域的广泛应用前景以
及面临的挑战。文章强调了MEMS技术在未来科技发展中的关键作用，并提出了进一步研究
的方向。
关键词：微机电系统，MEMS，传感器，执行器，纳米技术，集成电路
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