《光伏电池工艺设备 低压扩散设备技术规范》编制说明.pdf

团体标准

《光伏电池工艺设备低压扩散设备技术

规范》

（征求意见稿）

编制说明

标准编制组

2025年3月

一、工作简况

（一）任务来源

根据2025年1月10日广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进

会发布的《关于光伏电池工艺设备低压扩散设备技术规范等三项团

体标准立项的通知》，由拉普拉斯新能源科技股份有限公司牵头申报的团

体标准《光伏电池工艺设备低压扩散设备技术规范》获批立项。

（二）立项目的和意义

低压扩散的主要目的是在硅片表面进行硼或磷元素的扩散掺杂，以形

成P-N结、表面场或掺杂钝化接触，这是太阳能电池中实现光电转换的

关键结构。通过制定本技术规范，可提高电池效率及良率、优化电池制造

工艺、降低成本，从而推动本行业的技术进步。

低压扩散技术可提高电池效率和良率、降低成本、提高稼动率，然而，

当前国内外尚缺乏统一的扩散设备技术规范，这限制了光伏产业的健康发

展和技术交流。因此，制定《光伏电池工艺设备低压扩散设备技术规范》

团体标准显得尤为迫切和必要。

（三）起草单位

本标准由拉普拉斯新能源科技股份有限公司牵头编制。

（四）主要工作过程

1.标准预研阶段

2024年10月6日，拉普拉斯新能源科技股份有限公司召开标准立项

讨论会。会议决定以拉普拉斯新能源科技股份有限公司积累多年的扩散设

备研发和生产制造经验为基础，检索对比国内外扩散设备相关标准，组建

标准编制组，开始进行预研工作。

2.标准立项阶段

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经过前期的讨论和资料检索，基本确定拟立项标准的编制目的、意义、

框架和主要内容等。

2024年12月31日，拉普拉斯新能源科技股份有限公司向广东省粤

港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会提交了《团体标准立项申请书》。

2025年1月10日，广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会发布

《关于光伏电池工艺设备低压扩散设备技术规范团体标准立项通

知》，正式批准《光伏电池工艺设备低压扩散设备技术规范》立项。

3.调研和初稿阶段

标准立项后，编制组进行了新一轮的标准查新，并根据立项任务书的

计划，着手起草初稿，并于2025年1月22日完成标准草案。

草案完成后，编制组于2025年2月20日对标准草案的全文框架、技

术指标等进行研讨，研讨会后编制组对标准草案进行了修改。2025年3

月3日，编制组对于文本细节、指标限值进一步确认和完善。

经过两次研讨后，编制组于2025年3月19日形成《光伏电池工艺设

备低压扩散设备技术规范》（征求意见稿）和编制说明。

二、标准化对象简要情况及制修订标准的原则

（一）标准化对象简要情况

本设备主要用于晶体硅太阳能电池制造中硅片的扩散工艺，硅片经过

此工艺形成PN结、表面场或钝化接触的掺杂，是电池生产中的一种关键

设备，可用于制造N型TOPCon太阳能电池、背接触(BC)太阳能电池、P

型PERC和PERT电池等。

本标准适用于生产TOPCon和BC等电池的低压扩散设备的制造和检

验，标准主要内容包括设备的术语和定义、型号及命名、技术要求、试验

方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准将为光伏电池制造

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企业提供设备选型、使用和维护的依据，同时也为设备制造商提供设计和

生产的指导。

（二）制定原则

1.适用性原则。制定本标准的出发点是统一低压扩散设备的技术要

求，保证产品质量，实现国产替代。制定标准过程中，根据产品工艺的成

熟与完善、技术发展水平及测试数据确定技术指标取值范围，力求确保标

准的合理性与适用性。

2.一致性原则。标准应符合现行法律法规、政策、规范性文件的规

定，并与现行扩