《光伏电池工艺设备 原子层沉积(ALD)镀膜设备技术规范》.pdf

ICS29.020

CCSL95

团体标准

T/YGAZXHXXXX—XXXX

光伏电池工艺设备原子层沉积（ALD）

镀膜设备技术规范

Photovoltaiccellprocessequipment—Technicalspecificationfor

atomiclayerdeposition(ALD)coatingequipment

（征求意见稿）

2025.3.19

（本草案完成时间：）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会发布

T/YGAZXHXXXX—XXXX

目次

前言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4工作环境和工作条件1

5技术要求2

5.1外观及结构2

5.2整机性能2

5.3工艺性能3

5.4自动化4

5.5安全4

6试验方法5

6.1外观及结构5

6.2整机性能5

6.3工艺性能7

6.4自动化8

6.5安全9

7检验规则10

7.1检验分类10

7.2出厂检验10

7.3型式检验10

8标志、包装、运输和贮存10

8.1标志10

8.2包装11

8.3运输11

8.4贮存11

表1温度控制2

表2压力控制2

表3沉积性能3

表4膜厚范围3

表5膜厚均匀性3

表6整片自动化4

表7出厂检验10

I

T/YGAZXHXXXX—XXXX

光伏电池工艺设备原子层沉积（ALD）

镀膜设备技术规范

1范围

本文件给出了原子层沉积（ALD）镀膜设备（以下简称“ALD镀膜设备”）的工作环境和工作条件，

规定了技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于生产隧穿氧化层钝化接触太阳能电池（TopCon、BC）等电池应用的原子层沉积镀膜设

备的制造和检验。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T2828.1—2012计数抽样检验程序第1部分:按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划

GB2894安全标志及其使用导则

GB/T3768声学声压法测定噪声源声功率级和声能量级采用反射面上方包络测量面的简易法

GB/