30倍轮廓测量投影仪物镜镜头设计8600字【论文】 .docx

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30倍轮廓测量投影仪物镜镜头设计

【摘要】随着工业化测量领域的发展，使得轮廓测量投影仪对物体的轮廓，二维尺寸的测量和比对精度要求也越来越高。为了满足对物体轮廓测量比对时的精度需求，设计采用了对称式的双高斯镜头组作为初始结构，通过光学软件ZEMAX进行设计优化，设计了一个有效焦距为50mm,F数4.2,像面直径25.4毫米，放大倍率为30倍，基于物方远心光路镜头设计的轮廓测量投影物镜。该镜头最大畸变小于0.07%,全视场MTF=100lp/mm时大于0.3。可大幅度提升轮廓测量投影仪对工件测量的精度。最后，结合MTF,

点列图以及场曲和畸变对此次设计的轮廓投影物镜镜头进行了像质评价，以验证轮廓投影镜头测量的超高

精度性。

【关键词】双高斯镜头组；轮廓测量投影仪；MTF;远心光路；畸变

目录

1绪论 3

1.1轮廓测量投影仪简介 3

1.2研究背景和意义 4

1.3ZEMAX简介 5

2总体方案设计 6

2.1轮廓测量投影仪设计参数 6

2.2镜头初始结构的确定 8

3方案实现 8

3.1系统建模 8

3.2初始结构的选择 10

3.3初始结构分析 10

3.4设计优化 11

3.5设计结果 13

4像质评价 14

4.1点列图分析 14

4.2调制传递函数MTF分析 14

4.3场曲和畸变分析 15

5总结 17

参考文献

1绪论

1.1轮廓测量投影仪简介

1.1.1轮廓测量投影仪概念

轮廓测量投影仪，英文全称Measuringprojector,中文别称光学轮廓测量投影仪，测量投影仪，光学投影检量仪或者叫光学投影比较仪，该仪器利用光学投射的原理，将被测物件的轮廓投影至观察屏幕上，作测量或比较的一种测量仪器，可以高效地完成各种形状复杂物件轮廓和表面形状的测量。

1.1.2轮廓测量投影仪结构

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如图1-1,轮廓测量投影仪主要结构由投影箱体、主壳体和工作平台三部分组成。

投影箱：包括物镜，反光镜，投影屏以及多功能电箱。

仪器主壳体：光源，电器控制系统，冷却系统以及起到支撑投影箱体与工作平台的支撑架。

工作平台：包括从X轴、Y轴运动和Z轴运动的解析度为一微米级别的光栅线位移感测器。

1.1.3轮廓测量投影仪工作原理

轮廓测量投影仪是将被测物件放置于工作平台上，在透射光源或者反射光源的照射下，工件由轮廓测量投影物镜成放大实像经两个专用反光镜反射至投影箱内的投影屏幕上。当反光镜换成正像后，便得到一个与工作完全同向的影像。

1.1.4轮廓测量投影仪功能及其用途

轮廓测量投影仪能高效地完成各种形状复杂工件轮廓和表面形状的检测比对。本仪器被广泛应用于铁路行业以及光学测量工业，机械加工业、汽车配件、摩托车配件、精密五金制造业、模具、光学元器件等行业领域。同时也应用于测量电机轴、曲轴等可测轴承；传动制造业滚针、活塞、油嘴、气门、以及滚子直径控制等。

图1-1轮廓测量投影仪外观

1.2研究背景和意义

1.2.1研究背景

二十世纪二十年代末，德国工程师斯马尔茨发明一些基于机械和光学方法实现信号转换的表面特征记录仪器，即轮廓测量投影仪的初始模型[2]。

1940年，在英国，第一台触针式表面轮廓测量仪诞生。

1970年，梅多斯提出了基于光学条纹图分析原理的测量技术，通过条纹图提取物体的相位信息，从而获取物件表面特征。从此，轮廓测量投影仪由物理式的触针逐点测量发展到更为先进的光学多采样点测量。

1982年，全球第一台扫描隧道显微镜研制成功，扫描隧道显微镜(STM)的出现让轮廓测量投影仪正式进军微观领域。

现如今，随着光栅尺位移传感器的出现，投影仪开始安装上高精度的光栅尺位移传感器，即测量投影仪，这种仪器的作用主要是将工件在强透射性光源的透射或者反射下，在投影屏上形成放大正像的投影仪，然后用光栅尺位移传感器记录并确定产品的尺寸。随着工业化的发展，轮廓测量投影仪已经成为制造业和铁路行业最常用的检测仪器之一。

1.2.2研究的意义

近几年来，随着机械制造、铁路及光学测量工业的飞速发展，对加工表面的质量要求也

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越来越高。为了在生产过程中控制工件规格，和确保加工表面的质量，必需辅以相应的高精度检测仪器。测量表面质量的传统仪器是物理式的触针轮廓测量仪，在测量过程中，由于金刚石材料触针要始终与被测表面接触，往往容易刮损被测工件的表面，导致影响到被测表面的质量，同时测量工件表面时也产生较大的测量误差，所以急切需要开发一系列更高精度的非接触式轮廓投影测量仪器来应对传统仪器的不足之处。由于光学投影领域的深度开发，目前以光学