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Ic装备光学系统用深紫外反射器件关键技术研发及应用项目建议书;未找到bdjson;01;医疗卫生;国内外研究现状及发展趋势;深紫外反射器件是高科技产品，国外对相关技术进行封锁和限制，自主研发具有战略意义。;;02;研究具有高反射率、低吸收率、耐深紫外辐射的材料，如铝、氟化物玻璃等。;光学系统设计及仿真技术;研究高精度、低表面粗糙度的加工技术，如离子束刻蚀、激光加工等。;材料与工艺创新;03;研发计划时间表;核心技术攻关方案;团队组建与分工;;04;产业化可行性分析;;经济效益预测与评估;;05;项目总投资估算;;遵循科学、合理、节约的原则进行预算编制。;设立专户管理;06;;合作单位C;;加强与高校、科研机构的合作，不断提升团队的技术水平和创新能力。;THANKS
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