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东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之六

真空系统设计

真主讲人：王继常

空

系

统东北大学

设

计

1

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真空系统设计

1.真空系统的组成

2.真空技术基本方程

真3.真空系统的设计计算

空4.气体流动状态的判别

系

统5.流导的计算

设6.抽气时间的计算

计

7.真空密封

2

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1.真空系统的组成

◆1.1真空系统的概念

◆1.2真空系统的组成元件

真◆1.3真空系统示意图

空◆1.4高真空系统

系

统◆1.5真空系统设计的基本内容

设

计

3

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1.1真空系统的概念

◆什么是真空系统?

用一句话来概括，真空系统就是用来获得有特

定要求的真空度的抽气系统。

真

空

系

统

设

计

4

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1.2真空系统的组成元件

一个较完善的真空系统由下列元件组成：

1.抽气设备：例如各种真空泵；2.真空阀

门；3.连接管道；4真空测量装置：例如真

空压力表、各种规管；5.其它元件：例如捕

集器、除尘器、真空继电器规头、储气罐等。

真

空

系

统

设

计

5

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1.3真空系统示意图

一个要进行真空处理的容器，用管道和阀门

将它与真空泵连接起来，同时在容器上设置真空

测量装置，这就构成了一个最简单的真空抽气系

统(如图1)。

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3

真Lu

空N

系S

统

设

计1.被抽容器2.真空表3.连接管道4.真空阀门5.

真空泵

图1最简单的真空系统

6

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1.4高真空系统

图1所示的最简单的真空系统只能获得低

真空度，当需要获得高的真空度时，需要添加高

真空泵。当串联一个高真空泵之后，通常要在高

真空泵的入口和出口分别加上阀门，以便高真空

泵能单独保持真空。如果所串联的高真空泵是

一个油扩散泵，为了防止大量的油蒸气返流进入

真被抽容器，通常在油扩散泵的入口加一个捕集器

空水冷障板(如图2所示)。根据要求，还可以在管

系路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连

统接管道、真空泵入口放气阀等等，这样就构成了

设一个较完善的高真空系统。

计

7

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真

空

系1.被抽容器2.真空测量规管3.主阀4.予真空管道

统阀5.前级管道阀6.软连接管道7.放气阀8.前级

泵9.主泵(油扩散泵)10.水冷障板

设