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基于结构与缺陷调控的ZnO薄膜气敏性能优化策略研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，气体传感器作为检测和监测各种气体的关键设备，在环境监测、医疗诊断、工业生产、食品安全等众多领域发挥着举足轻重的作用。随着人们对环境质量、生活品质以及工业生产安全的关注度不断提高，对气体传感器性能的要求也日益严苛，如更高的灵敏度、更好的选择性、更快的响应速度以及更低的检测限等。因此，研发高性能的气体传感器材料成为了该领域的核心任务之一。

氧化锌（ZnO）薄膜作为一种重要的半导体材料，在气体传感器领域展现出了巨大的应用潜力，受到了科研人员的广泛关注。ZnO是一种具有六方纤锌矿晶体结构的