QTDG60-2022 声表面波级钽酸锂晶片.pdf

Q/TDG

天通控股股份有限公司企业标准

浙江省标准化公共服Q/TDG60—2022

务平

声表面波级钽酸锂晶片台

浙江省标准化公共服务平台

2022-06-10发布2022-06-10实施

015-09--10发布15-09-15实施

天通控股股份有限公司发布

浙江省标准化公共服务平台

浙江省标准化公共服务平台

Q/TDG60—2022

前言

浙

本标准编写遵循了GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》。

江

本标准由天通控股股份有限公司提出。

省

本标准起草单位：天通控股股份有限公司。

标

本标准主要起草人：徐秋峰、唐杰。准

本标准于2022年6月首次发布。化公共服务平台

浙江省标准化公共服务平台

I

浙江省标准化公共服务平台

浙江省标准化公共服务平台

Q/TDG60—2022

声表面波级钽酸锂晶片

1范围浙

本标准规定了声表面波级钽酸锂晶片（以下简称晶片）的要求、试验方法、检验规则、标志和合同

内容。江省标

2规范性引用文件准

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

化

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。公共

GB/T1031表面粗糙度参数及其数值服

GB/T6618-2009硅片厚度和总厚度变化测试方法务

GB/T6620硅片翘曲度非接触式测试方法平

GB/T6624硅抛光片表面质量目测检验方法台

GB/T14140硅片直径测量方法

GB/T30118-2013声表面波（SAW）器件用单晶晶片规范与测量方法

3要求

3.1化学组成浙

LiTaO。

3江

3.2结晶完整性省

要求在有效直径范围内都是单晶。

3.3晶向标准化

晶向应符合表1的规定。表1晶向公共

项目指标服

晶片取向（°）±0.3(42°Y-X)务

OF定向（°）±0.2(＋X面0°)平