JJF《-高速激光干涉仪校准规范005》.pdfVIP

中华人民共和国国家计量技术规范

JJFXXXX-XXXX

高速激光干涉仪校准规范

CalibrationSpecificationforHigh-speedInterferometer

（征求意见稿）

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

国家市场监督管理总局发布

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高速激光干涉仪校准规范JJFXXXX-XXXX

CalibrationSpecificationforHigh-speed

Interferometer

归口单位：全国几何量长度计量技术委员会

主要起草单位：哈尔滨工业大学

中国计量科学研究院

参加起草单位：中国电子科技集团公司第四十五研究所

本规范委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释

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本规范主要起草人：

参加起草人：

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目录

引言II

1范围1

2引用文件1

3术语和计量单位1

4概述2

5计量特性2

6校准条件3

6.1环境条件3

6.2测量标准及其他设备3

7校准项目和校准方法3

7.1校准项目3

7.2校准方法3

8校准结果表达8

9复校时间间隔9

附录A高速激光干涉仪位移测量动态示值误差测量结果不确定度评定示例10

附录B校准证书内容13

附录C校准证书内页格式14

I

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引言

JJF1071－2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001－2011《通用计量术语

及定义》和JJF1059.1－2012《测量不确定度评定与表示》共同构成制定本校准规范的

基础性系列规范。

本规范为首次发布。

II

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高速激光干涉仪校准规范

1范围

本规范适用于高速激光干涉仪的校准。

2引用文件

本规范引用了下列文件：

JJG739-2005激光干涉仪

JJF1094-2002测量仪器特性评定

JJF1130-2005几何量测量设备校准中的不确定度评定指南

GB/T17163-2008几何量测量器具术语基本术语

JB/T5610-2006激光干涉仪

凡是注明日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡不注日期的引用文

件，其最新版本（包括所有的修订单）适用于本规范。

3术语和计量单位

本规范采用下列术语、定义和计量单位以及所有JJF1001、GB/T17163中的术语、

定义和计量单位，其中部分术语、定义和计量单位如下：

3.1高速激光干涉仪highspeedinterferometer

以激光波长为测量标准，按多普勒效应产生的多普勒频