净化空调系统多维度数据分析与智能诊断平台.pdfVIP

2025年3月洁净与空调技术CCAC第1期

净化空调系统多维度数据分析与智能诊断平台

*

中国电子程设计院股份有限公司王妍徐晓丽王晨魏兰赵国云康佳

摘要基于净化空调系统高精密控制与节能需求，首次开发了专项运维平台，通过多维度关联分析与智能诊断，

提供精准、高效、智能的综合解决方案。应用结果显示，平台可显著提高系统运行稳定性、降低系统能耗、减少人

工干预和维护成本。

关键词净化空调系统；高精密控制；节能；多维度数据分析；智能诊断；运维平台

AMultidimensionalDataAnalysisandIntelligentDiagnosticPlatformforCleanroomAir

ConditioningSystems

WangYanXuXiaoliWangChenWeilanZhaoGuoyunKangJia

AbstractBasedonthehigh-precisioncontrolandenergy-savingrequirementsofcleanroomairconditioningsystems,a

specializedoperationsandmaintenanceplatformhasbeendevelopedforthefirsttime.Thisplatformprovidesprecise,

efficient,andintelligentcomprehensivesolutionsthroughmultidimensionalcorrelationanalysisandintelligentdiagnostics.

Applicationresultsdemonstratethattheplatformsignificantlyimprovessystemoperationalstability,reducesenergy

consumption,andminimizesmanualinterventionandmaintenancecosts.

KeywordsCleanroomairconditioningsystem;High-precisioncontrol;Energysaving;Multidimensionaldataanalysis;

Intelligentdiagnostics;OMplatform

0引言

净化空调系统为高精密制造提供要求严苛温度、处理、分析诊断、展示与交互四个层次，开展平台设

湿度、洁净度等生产环境[1]，同时也是电子工厂主要计。通过建立系统数据、能耗、异常事件间的多维度

的能耗来源之一[2,3]。精准控制[4,5]和运行节能[6,7]，是关联关系，实现净化空调系统受控参数、能耗及系统

运行的多维度关联分析和智能诊断。平台框架如图1

电子工厂净化空调系统运维管理中的两个主要目标。

所示。

智能制造执行系统，已成为电子工厂运维的重要

工具。但目前，先进算法和智能模块的研发，主要集

中在工艺端[8,9]。对于净化空调系统运维，大部分工

厂仍采用传统的指标监控模式，缺乏过程管理及相关

性分析，对于系统故障、超标等异常事件，无法快速

响应。运维效果往往依赖于运维人员专业水平，且需

要投入较多的人力成本。