一种薄膜电感器的制作工艺发明专利.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN111863422A

(43)申请公布日2020.10.30

(21)申请号202010833121.X

(22)申请日2020.08.18

(71)申请人翔声科技(厦门)有限公司

地址361101福建省厦门市火炬高新区(翔

安)产业区赤埔路301号

(72)发明人王建国郝涛冯会军黄国原

夏后雨李宗超梁文海

(74)专利代理机构厦门律嘉知识产权代理事务

所(普通合伙)35225

代理人张辉

(51)Int.Cl.

H01F41/00(2006.01)

H01F41/04(2006.01)

H01F41/10(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图7页

(54)发明名称

一种薄膜电感器的制作工艺

(57)摘要

本发明提供了一种薄膜电感器的制作工艺，

涉及薄膜电感器技术领域。其中，这种薄膜电感

器的制作工艺通过在在基板上贴附热剥离膜和

PI膜，再以PI膜为载体，于其上薄膜制作电感器，

最后经过高温让基板、热剥离膜，以及PI载体相

互脱离。本案薄膜电感器的制作工艺，不仅能够

大大提高制作小规格电感器的合格率，而且能够

更加方便的制作薄膜的电感器，提高生产的效

率。

A

2

2

4

3

6

8

1

1

1

N

C

CN111863422A权利要求书1/2页

1.一种薄膜电感器的制作工艺，其特征在于，步骤如下：

S1：将热剥离膜贴附于基板(4)；

S2：将PI膜(1)压附于所述热剥离膜上，以作载体；

S3：于所述PI膜(1)上先后溅射钛层和铜层；

S4：于铜层表面覆盖一层第一负向感光膜；

S5：通过曝光的方式，把电感图形(2)留于所述第一负向感光膜上；

S6：通过显影的方式，露出电感图形(2)所对应的铜层；

S7：于露出的铜层上挂镀一层挂镀铜；

S8：去除电感图形(2)以外的第一负向感光膜；

S9：去除电感图形(2)以外的溅射钛层和铜层，以形成电感线路；

S10：于所述基板(4)印刷一隔离层，并印刷一层第一感光油墨；

S11：通过曝光的方式，把隔离层图形留于所述第一感光油墨上；

S12：通过显影的方式，去除多余的所述第一感光油墨，以露出基板(4)的正面电极和电

感线路中央的挂镀铜；

S13：于所述基板(4)溅射钛层和铜层；

S14：于铜层上覆盖一层第二负向感光膜；

S15：于第二负向感光膜上设置一具有引出棒图形(3)的第一底片，并通过曝光的方式，

将引出棒图形(3)留于第二负向感光膜上；

S16：去除引出棒图形(3)所对应的第二负向感光膜，以露出引出棒图形(3)所对应的溅

射铜层；

S17：于露出的溅射铜层上挂镀一层挂镀铜；

S18：去除引出棒图形(3)以外的第二负向感光膜；

S19：去除引出棒图形(3)以外的溅射铜层，以露出底下的所述隔离层；

S20：于所述基板(4)印刷一层第二感光油墨；

S21：于所述基板(4)设置具有防焊层图形的第二底片，通过曝光的方式，把防焊层图形

留于所述第二感光油墨上；

S22：通过显影的方式，去除多余的所述第二感光油墨，以露出基板(4)的正面电极；

S23：于所述基板(4)上先后溅射钛层和铜层；

S24：于所述基板(4)上覆盖一层第三负向感光膜；

S25：于所述基板(4)设置具有C1电极(5)图形的第三底片，通过曝光的方式，把C1电极

(5)图形留在所述第