T∕CSTM 00162-2020 透射电子显微镜校准方法.docxVIP

ICS

ICS17.020A50

团体标准

T/CSTM00162—2020

透射电子显微镜校准方法

Calibrationmethodsfortransmissionelectronmicroscope

2020-03-23发布2020-06-23实施

中关村材料试验技术联盟发布

I

T/CSTM00162—2020

目次

前言 Ⅲ

引言 V

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4概述 1

5计量特性 2

6校准条件 2

7校准项目和校准方法 2

8测量结果不确定度评定 4

9校准结果表达 5

10复校时间间隔 5

附录A(资料性附录)透射电镜校准用标准物质 6

附录B(资料性附录)校准证书(内页)格式 7

附录C(资料性附录)本标准起草单位和主要起草人 8

Ⅲ

T/CSTM00162—2020

前言

本标准参照GB/T1.1—2009给出的规则起草。

请注意本文件的某些内容有可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本标准由中国材料与试验团体标准委员会基础与共性技术领域委员会(CSTM/FCO0)提出。

本标准由中国材料与试验团体标准委员会基础与共性技术领域委员会(CSTM/FCO0)归口。

T/CSTM00162—2020

V

引言

透射电子显微镜(简称“透射电镜”)是研究固态物质显微形貌、晶体结构和测量纳米尺寸的仪器，在材料科学和生命科学等领域被广泛应用。本标准规定了透射电镜图像放大倍率(标尺)、样品污染率和样品漂移率的校准方法，制定本标准的目的主要是解决透射电镜在测量应用中的校准问题。

1

T/CSTM00162—2020

透射电子显微镜校准方法

1范围

本部分规定了透射电镜校准方法的术语和定义、概述、计量特性、校准条件、校准项目和校准方法、测量结果不确定度评定、校准结果表达和复校时间间隔。

本标准适用于透射电镜放大倍率、样品污染率和样品漂移率的校准。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T15000.3标准样品工作导则(3)标准样品定值的一般原则和统计方法(GB/T15000.3—2008,ISOGuide35:2006,IDT)

GB/T18907微束分析分析电子显微术透射电镜选区电子衍射分析方法

GB/T34002—2017微束分析透射电子显微术用周期结构标准物质校准图像放大倍率的方法JJG011透射电子显微镜检定规程

JJF1071—2010国家计量校准规范编写规则

ISO导则35标准物质/标准样品定值的一般原则和统计方法(Referencematerials-Generaland

statisticalprinciplesforcertification)

3术语和定义

GB/T15000.3、GB/T18907、GB/T34002、JJG011、JJF1071中界定的术语和定义适用于本文件。

4概述

4.1透射电镜是以波长极短的电子波作为照明源，用电磁透镜聚焦成像，具有很高分辨率和放大倍率的电子光学仪器。

4.2透射电镜主要由以下部分组成：

a)照明系统：包括电子枪和会聚磁透镜等；

b)成像系统：包括物镜、中间镜和投影镜等；

c)真空系统：包括机械泵、分子泵和离子泵等；

d)记录系统：包括荧光屏和相机等；

e)电源系统：包括高压电源、磁透镜电源、真空系统电源和其他电器部件。

4.3使用透射电镜的明场像和高分辨晶格像两种成像模式。晶体薄样品明暗场像的衬度(即不同区域的亮暗差别),是由于样品相应的不同部位结构或取向的差别导致衍射强度的差异而形成的，称为衍射衬度，以衍射衬度机制为主而形成的图像称为衍衬像，如果只允许透射束通过物镜光阑成像，称为明场像。当透射束和至少一束衍射束同时通过物镜光阑参与成像时，由于透射束与衍射束的相干作用，形成一种反映晶体点阵周期性的条纹像/结构像，称为高分辨晶格像