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漏液检测器/带断线检测功能的漏液检测器
K7L-AT50/AT50D
CSM_K7L-AT50_AT50D_DS_C_3_3
可设定4级检测范围,低导电率的药液
和一般水都能稳定检测
•采用电极间的电阻检测方式,能对50MΩ的高阻抗液体进行稳定
检测,也能检测IPA或纯水的泄漏
•采用3芯电缆的干扰消除回路,提高了抗干扰性
•采用交流检测方式,防止因电蚀导致电极老化
•电源回路与检测回路绝缘隔离,在同一位置可安装多个传感器
•检测到断线后,为防止断线部分因发生再次接触导致不稳定,将
保持检测到断线后的动作状态*1
•能在危险环境中使用的专用防爆隔离栅形成产品系列(另售)
•符合CE标志,通过UL/CSA标准认证*2*1.K7L-AT50D时。
*2.ULFileNo.E138234
CSAFileNo.LR95291-21
请参见第7页上的“注意事项”。CEEMI:EN55011
EMS:EN61000-6-2
有关标准认证机型的最新信息,请参见本公司网站
()的“标准认证/适用”。
特点
漏液检测带有高度的抗化学品腐蚀能力。K7L能用于从半导体生产设施到食品加工设备的很多种应用中。
电极间电阻检测方式噪音消除回路(PAT)
从50MΩ电阻液体到普通水都能稳定检测。可设定4级检测范围,使用了3芯电缆的噪音消除回路具有出色的耐噪音性,可稳定检测
能够根据液体特性检测。漏液。
IPA
交流检测方式
采用交流方式向检测带供给信号,安全不触电。
多通道使用
电源回路与检测回路的绝缘,在同一位置可安装多个传感器。
400-820-45351
K7L-AT50/AT50D
检测半导体生产设施的结露和漏液检测液体化学品存储罐的管接头处的漏液
可以检测清洗设备内部的结露和周围的漏液。可将检测带缠绕在管接头处等有可能漏液的部位上检测漏液。
有优秀的抗化学腐蚀性的检测带检测电镀设备的清洗液的液位
电极采用SUS316,绝缘外皮采用聚乙烯。提高了耐酸碱性等。检测清洗槽内的纯水水位。
利用高灵敏度的高精度控制防止清洗不良。
CMP仪器中量筒的液体泄漏检测注:在防爆区域中如果一个水槽上使用2个以上的K7L,请务必将水槽接地。
能检测泄漏到排水盘中的液体,从而预防装置损坏及晶片的清洗
不良。
400-820-45352
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