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孙兆威 2025年6月9日
Z在抽真空的过程中，在不同真空度下腔体内的主要气体成分。
压强
压强〔torr〕
主要气载
Atm
WetAir
10-3
Water
Vapor
〔75%-85%〕
10-6
HO，CO
2
10-9
HO，CO，H
2
2
10-10
CO，H
2
10-11
H
2
管道的设计与连接对抽真空效率的影响，检漏方法
抽气效率：为保持系统真空度而需要的抽速，取决于真空元件的总流导〔一般指导管、阀门、挡板真空系统中的常见元件〕，使得真空泵的实际抽速S永久小于理论抽速Sp
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