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ICS13.040.40
CCSZ60
31
上海市地方标准
DB31/374—2024
代替DB31/374—2006
半导体行业污染物排放标准
Thedischargestandardsofpollutantsforsemiconductorindustry
2024-2-29发布2024-05-01实施
上海市生态环境局
发布
上海市市场监督管理局
DB31/374—2024
目次
前言II
引言III
1范围1
2规范性引用文件1
3术语和定义3
4水污染物排放控制要求4
5大气污染物排放控制要求5
6污染物监测要求7
7达标判定要求10
8实施与监督10
附录A(资料性)固定污染源废气含三甲苯的苯系物的测定气袋采样-气相色谱法.11
参考文献15
I
DB31/374—2024
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件代替DB31/374—2006《半导体行业污染物排放标准》,与DB31/374—2006相比,除结构调
整和编辑性改动外,主要技术变化如下:
——更改了水污染物排放标准的标准分级:将原第一类污染物两个级别的排放标准调整为执行同
一级别的排放标准,将原第二类污染物三个级别的直接排放标准调整为同一个级别(见4.1,
2006版的4.1.4);
——删除了大气污染物的排放速率控制方式(2006版的4.2.2.2);
——更改了污染物控制项目:增加了水污染物控制项目石油类、总氮、总磷、阴离子表面活性剂
和总锌(见表1);取消了水污染物控制项目五日生化需氧量(2006版的4.1.4);增加了大
气污染物控制项目氯气、氰化氢、锡及其化合物、苯、苯系物、非甲烷总烃、颗粒物和氮氧
化物(见5.1.1,2006版的4.2.2.2);
——更改了部分污染物项目的排放限值:收严了悬浮物、化学需氧量、总有机碳、氨氮、总氰化
物、总铜、总铅、总镉、总镍等9项水污染物项目的排放限值(见4.1,2006版的4.1.4);
收严了硫酸雾、氯化氢、挥发性有机物等3项大气污染物项目的排放限值(见5.1.1,2006
版的4.2.2.2);
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