GB/T 14851-2025电子特气　磷化氢.pdf

ICS71.100.20

CCSG86

中华人民共和国国家标准

/—

GBT148512025

代替/—

GBT148512009

电子特气磷化氢

—

ElectronicsecialtasPhoshine

pygp

2025-03-28发布2025-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT148512025

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/—《》。/—,

本文件代替电子工业用气体磷化氢与相比除结构

GBT148512009GBT148512009

,:

调整和编辑性改动外主要技术变化如下

———(,);

更改了磷化氢应符合的技术要求见第章年版的第章

420093

———“”();

增加了采样一章见第章

5

———、、、、、、(

更改了氧氩氮一氧化碳二氧化碳甲烷其他碳氢化合物砷化氢含量的测定方法见

+

,年版的、、);

6.220094.44.54.6

———、();

增加了硅烷硫化氢含量的测定方法见6.2

———