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RFMEMS移相器：原理、设计与性能分析

一、引言

1.1RFMEMS移相器的研究背景与意义

在现代通信与雷达等领域，移相器作为关键组件，对系统性能起着决定性作用。随着通信技术从4G向5G乃至未来6G的演进，以及雷达分辨率和探测距离需求的不断提升，对高性能移相器的渴望愈发迫切。在5G通信中，大规模MIMO技术的应用需要移相器具备高精度、低损耗和快速响应等特性，以实现对信号波束的精确控制，从而提高通信容量和覆盖范围。

传统移相器，如铁氧体移相器，虽功率容量大、插入损耗较小，但存在工艺复杂、制造成本高昂、体积庞大等缺点，严重限制了其在对尺寸和成本敏感的应用场景中的推广。