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机械量传感器与MEMS技术的研究与应用

目录

机械量传感器与MEMS技术研究概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1概念及发展背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.2技术特点与优势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.3研究意义与应用前景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

MEMS技术基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.1MEMS技术原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.2MEMS制造工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.3MEMS传感器分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

机械量传感器关键技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.1传感器设计原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

3.2信号处理与分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

3.3精度与可靠性评估．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

MEMS技术在机械量传感器中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

4.1微型加速度传感器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

4.2微型压力传感器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

4.3微型位移传感器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

机械量传感器在工业领域的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

5.1自动化控制系统．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

5.2机器人技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

5.3智能制造与检测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

机械量传感器在交通领域的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

6.1汽车传感器系统．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

6.2飞机导航与监控．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

6.3航天器测控．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

机械量传感器在医疗领域的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

7.1医用监护设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

7.2人体运动监测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

7.3生物力学研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

机械量传感器在环境监测中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

8.1空气质量监测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40

8.2水质监测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

8.3地震监测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

机械量传感器的发展趋势与挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

9.1技术创新方向．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

9.2标准化与产业化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47

9.3未来发展前景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47

总结与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

10.1研究成果总结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．