离子注入技术(Implant).pptxVIP

下载本文档

0
0
约小于1千字
约 26页
2025-04-23 发布于四川
举报
版权申诉

离子注入技术(Implant).pptx

1、本文档共26页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

离子注入技术(Implant);2基本原理和基本结构1综述;最早应用于原子物理和核物理研究;2基本原理和基本结构基本原;离子束加工方式可分为1、掩模方;基本结构：离子注入系统（传统）;基本结构：离子注入系统（传统）;离子注入系统示意图;离子注入系统实物图;2.1离子源作用：产生所需种;LMIS的类型、结构和发射机;注入离子浓度分布离子注入过程：;注入离子分布(高斯型)RP：投;2.3退火工艺注入离子会引;一个离子引起的晶格损伤轻离子重;退火前后的比较退火前退火后;离子注入扩散1低温，光刻胶掩膜;离子注入的缺点离子注入将在靶中;离子注入的应用固体材料表面改性;离子注入机设备与发展中束流μA;GSD/200E2离子注入机技;GSD/200E2离子注入机技;离子注入机设备与发展;离子注入机设备与发展目前最大的;未来电子技术发展水平的瓶颈；未;Thankyou!