金属氧化物气敏薄膜传感元器件：原理、应用与挑战.docx

金属氧化物气敏薄膜传感元器件：原理、应用与挑战

一、引言

1.1研究背景与意义

随着工业化进程的加速和人们生活水平的提高，气体检测在环境监测、工业安全、医疗卫生、智能家居等领域发挥着愈发关键的作用。从雾霾天气频发导致的空气质量恶化，到工业生产中易燃易爆、有毒有害气体泄漏引发的严重事故，再到医疗领域对人体呼出气体中生物标志物的精准检测用于疾病早期诊断，气体检测的需求无处不在。金属氧化物气敏薄膜传感元器件作为气体检测的核心部件，凭借其高灵敏度、快速响应、低成本、易于集成等显著优势，成为当前传感器领域的研究热点之一。

在环境监测领域，准确检测大气中的有害气体，如一氧化碳（CO）、二氧化硫（SO?）