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高温超导量子磁场探测器电感仿真及性能优化

摘要

超导量子干涉器作为一种磁通-电压转换器，可以进行微弱磁通变化的探测，多应

用于生物、医疗、矿产资源探测等领域。但受限于其自身结构尺寸，磁场灵敏度较低，

通常采用与拾取回路相耦合的方式形成基于超导量子干涉器的超导磁力仪，以增大其有

效面积，进而提高磁场灵敏度。

本课题以高温超导量子干涉器为基础，结合国内外相关领域研究进展，对高温超导

量子干涉器和基于高温超导量子干涉器的超导磁力仪进行了电感模拟仿真，研究了器件

各部分结构尺寸及相对关系对于有效面积、噪声等因素的影响，并基于此进行了器件设

计与制备，同时设计了测试程序对器件性能进行表征。主要工作如下：

首先，本文通过Labview开发了高温超导量子干涉器测试平台的软件，主要包括电

压-磁通和临界电流-磁通特性的测量，用于后续所制备器件的测试与性能表征。

然后，本文通过3D-MLSI对高温超导条带、超导垫圈、约瑟夫森结、超导量子干

涉器件以及基于高温超导量子干涉器的超导磁力仪等进行了电感模拟仿真，主要对其各

项基本尺寸、间隔、对准误差等与电感数值的关系进行了研究，分析了各结构尺寸及其

相关关系对于电感或有效面积的影响，以增加有效面积，提高磁场灵敏度，提升器件综

合性能，相关结论对于器件的设计和优化具有重要参考价值。

最后，基于电感仿真结果，本文在钛酸锶双晶衬底上设计并制造了高温纳米超导量

子干涉器，并对其液氦液氮温区下的输运特性进行测试。为了提高其磁通灵敏度，特别

对钛酸锶双晶衬底提前进行了退火预处理，以改善其表面粗糙度，为其薄膜生长和器件

1/2

制备提供良好基础。测得其液氦温区下的磁通噪声在1Hz时为4.9μФ/Hz，比未事先

0

预处理的小一到两个数量级，且该制备方法具有较高的可重复性和良率，这对推进高温

超导纳米量子干涉器件在低频下的应用意义重大。同时，还依据仿真结果，进行了高温

超导直接耦合磁力仪的优化设计、制备和性能表征，在4.2K下（1kHz）磁场噪声为119.6

fT/Hz1/277K1kHz0.249pT/Hz1/2

，下（）为。

关键词：高温超导；超导量子干涉器；超导量子磁力仪；电感仿真

高温超导量子磁场探测器电感仿真及性能优化

Abstract

Superconductingquantuminterferencedevice,asakindofvoltage-to-fluxconverter,can

carryoutthedetectionofweakmagneticfluxchanges,andismostlyappliedinthefieldsof

biology,medicaltreatment,andmineralresourcesdetection.However,themagneticfield

sensitivityislowduetoitsownstructuraldimensions,andasuperconductingmagnetometer

basedonasuperconductingquantuminterferencedeviceisusuallyformedbycouplingwitha

pickuplooptoincreaseitseffectiveareaandthusimprovethemagneticfieldsensitivity.

Basedonthehigh-temperaturesuperconductingquantuminterferencedeviceandthe

researchprogressintherelatedfieldsathomeandabroad,thisp