柔性衬底上溅射沉积WO3薄膜：工艺、性能与应用探索.docx

柔性衬底上溅射沉积WO3薄膜：工艺、性能与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在科技飞速发展的当下，电子设备正朝着小型化、轻量化、柔性化方向大步迈进，柔性电子器件应运而生并迅速成为研究热点。这种器件是将有机或无机材料电子器件制作在柔性或可延性基板上，与传统电子器件相比，其具备独特的柔性和延展性，能够在一定程度上适应不同的工作环境，满足设备的形变要求，如弯曲、折叠、扭转、压缩或拉伸等，这使得它在信息、能源、医疗、国防等众多领域展现出广泛的应用前景，如可穿戴设备、柔性显示屏、电子皮肤、智能包装、曲面显示器以及能源存储设备等。

随着人们对生活品质和智能化需求的不断提升，电致变色材料因其具有