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微波氢等离子体发射光谱诊断：原理、技术与应用的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

等离子体作为物质的第四态，由大量离化的粒子组成并呈现电中性，在众多科学领域和工业应用中扮演着关键角色。对等离子体性能的研究，不仅能从纯科学角度为自然空间和大气现象的探索提供重要依据，还能为等离子体发展应用中遇到的技术问题提供解决方案。微波氢等离子体，作为等离子体的一种特殊形式，采用无极放电方式，具备能量密度高、基团活性强、无放电电极污染和可控性好等显著优点，在材料加工、表面处理、薄膜沉积等领域展现出巨大的应用潜力。

在材料加工领域，微波氢等离子体可用于制备高纯度纳米碳管、合成纳米复合物材料等。以高纯度纳