第八章电子光学基础.pptVIP

球差球差：球面像差，是由于电磁透镜的近轴端和远轴端对电子的会聚能力不同引起的。因此从一个物点散射的电子束经过具球差的磁透镜后物象并不会聚一点，而分别会聚于轴向的一定距离上，如图（2-9a）。无论像平面在什么位置，都不能得到清晰的像，而是一个散焦圆斑。在某一位置，可获得最小的散焦圆斑，称为球差最小散焦圆，其半径为：球差是电子显微镜的最主要的像差之一。它往往决定显微镜的分辨本领。第31页，共62页，星期日，2025年，2月5日减小球差的途径：减小成像时的孔径角，可使球差明显减小。第32页，共62页，星期日，2025年，2月5日2、像散像散：是由于透镜磁场的非旋转对称而引起的像差。主要是生产工艺、透镜污染，使透镜磁场不完全旋转对称，而只是近似的双对称场。这样产生在透镜的XZ、YZ两个对称面方向的焦距不同，使物象不能聚焦，形成弥散的椭圆斑，最小的弥散圆斑半径为a：图（2-9c）消除像散的途径：引入校正磁场，通常采用消像散器。第33页，共62页，星期日，2025年，2月5日3、色差色差：由于入射电子波的波长或能量不均一造成的。图（2-9b）其效果与球差相似，在轴向距离范围内也存在一个最小的色差弥散圆斑，半径为rC：Cc为透镜的色差系数，随激励磁电流增大而减小。引起能量变化的主要原因为：电子加速电压不稳定，引起照明电子束能量的波动。电子与物质相互作用后，电子能量受到损失。第34页，共62页，星期日，2025年，2月5日消除色差的途径：1）稳定加速电压；2）减薄样品。第35页，共62页，星期日，2025年，2月5日第36页，共62页，星期日，2025年，2月5日4.电磁透镜的分辨率是电磁透镜的最重要的性能指标，它受衍射效应、球差、色差和像散等因素的影响。电磁透镜的理论分辨本领为：式中A为常数，0.4~0.5。电磁透镜的理论分辨本领为0.2nm。第37页，共62页，星期日，2025年，2月5日五、电磁透镜的景深和焦长电镜具有景深大、焦长长的特点。所谓景深是指在不影响透镜成像分辨率的前提下，物平面可沿透镜移动的距离。如图所示:当r=1nm，a=10-3~10-2rad时，Df约为200~2000nm，对于加速电压为100kV的电子显微镜，样品厚度一般控制在200nm以下，在透镜场深范围内，试样各部位都能聚焦成像。第38页，共62页，星期日，2025年，2月5日第39页，共62页，星期日，2025年，2月5日所谓焦长是指在不影响透镜成像分辨率的前提下，像平面可沿透镜轴移动的距离。焦长反应了观察屏或照相底板可在像平面上、下沿镜轴移动的距离。第40页，共62页，星期日，2025年，2月5日第二节电子与固体物质的相互作用一、电子散射当一束聚焦电子束沿一定方向射入试样时，在原子库仑电场作用下，入射电子方向改变，称为散射。原子对电子的散射可分为弹性散射和非弹性散射。在弹性散射过程中，电子只改变方向，而能量基本无损失。在非弹性散射过程中，电子不但改变方向，能量也有不同程度的减少，转变为热、光、X射线和二次电子发射。原子对电子的散射可分为：原子核对电子的弹性散射原子核对电子的非弹性散射核外电子对入射电子的非弹性散射第41页，共62页，星期日，2025年，2月5日第42页，共62页，星期日，2025年，2月5日二、内层电子激发后的弛豫过程当内层电子被运动的电子轰击脱离原子后，原子处于高度激发状态，它将跃迁到能量较低的状态，这种过程称为弛豫过程。它可以是辐射跃迁，即特征X射线；也可以是非辐射跃迁，如俄歇电子发射，这些过程都具特征能量，可用来进行成分分析。三、各种电子信号在电子与固体物质相互作用过程中产生的电子信号，除了二次电子、俄歇电子和特征能量损失电子外，还有背散射电子、透射电子和吸收电子等。第43页，共62页，星期日，2025年，2月5日第44页，共62页，星期日，2025年，2月5日1、背散射电子电子射入试样后，受到原子的弹性和非弹性散射，有一部分电子的总散射角大于90°，重新从试样表面逸出，称为背散射电子，这个过程称为背散射。可分为弹性背散射、单次（多次）非弹性背散射。通过接收电子的探测仪，可探测不同能量的电子数目。如图所示：扫描电镜和电子探针中应用背散射电子成像称为背散射电子像。其分辨率较二次电子象低。第45页，共62页，星期日，2025年，2月5日第46页，