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毫米波太赫兹MEMS开关技术的研究与进展

目录

一、内容综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.2毫米波与太赫兹技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.3MEMS开关技术简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

1.4毫米波/太赫兹MEMS开关技术研究现状与挑战．．．．．．．．．．．．．．．．8

二、毫米波/太赫兹MEMS开关基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.1工作机制分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

2.1.1机械驱动方式．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.1.2电气控制方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

2.2关键性能指标定义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

2.2.1开关特性参数．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．1