摘要
随着红外探测技术的快速发展,红外探测技术逐渐覆盖工业、国防和民用等各
个领域,是未来人类掌握获取地面信息、勘测自然灾害、国土资源调查、保护地
球的重要手段。红外滤波器作为红外探测系统的核心器件,在工作波段需要高的
透过率,其余波段具有高的截止度避免杂散光的干扰,从而提高系统灵敏度,减
小或消除噪声。本文研究的长波红外带通滤波器用于红外探测器的窗口,需要与
系统进行焊接封装,首先依据光学薄膜理论进行膜系结构的设计,然后采用非常
规的机械掩膜法,利用真空镀膜设备完成带通滤光膜和金属化膜的制备
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