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基于喷墨打印的柔性CTD传感器及阵列研究

摘要

温度、盐度、深度是重要的海洋水文要素，温盐深（CTD）传感器可以实现海水温

度、电导率、压力的检测。随着海洋环境检测技术的快速发展，对海洋传感器的要求也

不断提高。柔性传感器具有低成本、低功耗、一致性好、可弯曲、高分辨率等特点，为

传感器更高水平的应用提供了全新的可能性。

本文从测量原理出发，通过理论分析选择热敏电阻式温度传感器，电极式电导率传

CTD

感器和电容式压力传感器组成柔性传感器。根据测量原理与材料特性，选择制备柔

CTDCOMSOL

性传感器所需要的材料，并设计传感器结构。通过仿真对传感器的结构进

行了优化，基于焦耳热效应分析优化温度传感器的热敏薄膜的线宽为4mm，基于固体力

CTD

学分析设计具有微凸台结构介电层。最终确定了柔性传感器以及其中温度和压力传

感阵列的设计方案。

基于传感器设计方案，本文在实验室环境下使用微电子打印机Scientific3A制造了柔

CTD

性传感器。首先设置了材料的打印参数，其次对材料进行了过滤、加热、等离子清

PET

洗等预处理，最后通过喷墨打印技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯（）基底上分别制造

了柔性温度、压力、电导率传感器。为了检验传感器的性能，在实验室中搭建了传感器

的测试环境并进行了性能测试，实验结果表明制造的柔性温度、压力、电导率传感器具

有较好的稳定性和较小的迟滞，可以用于在复杂海洋环境下快速多次的测量。最终基于

温度和压力传感器的制造工艺，完成了柔性温度传感阵列和柔性压力传感阵列的制造。

为了实现数据的快速采集，本文设计了柔性CTD传感器及阵列的测量系统，硬件

设计部分包括温度、压力、电导率信号的采集电路、基于STM32的主控电路、供电电

路，软件部分包括初始化程序、数据采集和发送程序、数据处理程序。系统实现了温度、

压力、电导率数据的连续采集，以及对于柔性传感阵列数据采集的控制。

本文搭建了柔性CTD传感器系统的标定环境，对传感器系统进行了标定，温度传

2%5%

感器标定拟合的误差为，压力传感器标定拟合误差为，电导率传感器标定拟合的

误差为0.4%，对于温度和压力传感阵列，通过阵列修正算法和薄板样条算法，将温度传

0.5%2%

感器的误差降低到，压力传感器的误差降低到，同时提高了温度和压力传感阵

列的分辨率。本课题设计的柔性CTD传感器满足设计指标。

CTDCOMSOL

关键词：传感器；柔性传感器；喷墨打印技术；仿真；传感阵列

基于喷墨打印的柔性CTD传感器及阵列研究

Abstract

Temperature,salinity,anddepthareimportanthydrologicalelementsoftheocean.

Conductivity-Temperature-Depth(CTD)sensorsallowforthemeasurementofseawater

temperature,conductivity,andpressure.Asmarineenvironmentaldetectiontechnology

continuestorapidlydev