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半导体洁净室培训
演讲人：
日期：
06
案例研究与最佳实践
目录
01
洁净室概述
02
洁净室工作流程
03
洁净室环境控制
04
洁净室设备与工具使用
05
无尘车间安全生产操作与规范
01
洁净室概述
洁净室是指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。
按照洁净度等级划分，洁净室可分为ISO1级至ISO9级；按照用途划分，可分为工业洁净室和生物洁净室等。
洁净室定义
洁净室分类
洁净室定义及分类
洁净室在半导体生产中的重要性
提高产品良率
洁净室能够有效去除空气中的尘埃、微生物等污染物，减少产品制造过程中的污染，从而提高产品良率。
保障产品品质
降低生产成本
半导体产品对生产环境的洁净度要求极高，洁净室能够满足其生产需求，保障产品品质。
洁净室通过控制环境，能够减少生产过程中的废品率和返工率，从而降低生产成本。
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洁净室标准及要求
洁净室内空气洁净度应符合生产要求，通常采用高效过滤器过滤空气，达到一定的洁净度等级。
空气洁净度标准
洁净室内温度、湿度应控制在适宜范围内，以确保产品制造过程中的稳定性和精度。
洁净室内噪声应控制在一定范围内，以减少对工作人员的干扰和对产品品质的影响。
室内温度、湿度要求
洁净室应保持一定的正压，防止外界污染物进入洁净室。
室内压力控制
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03
噪声控制
02
洁净室工作流程
洁净室区域划分
洁净区
该区域必须保持高度洁净，是洁净室的核心区域，主要用于半导体制造和加工。
洁净辅助区
该区域用于支持洁净区的运作，包括洁净室设备的清洗、维修和保养等。
污染区
该区域是洁净室的污染源头，如化学品的储存和废弃物处理等。
洁净室服装
进入洁净室必须穿着专业的洁净室服装，包括洁净服、手套、口罩和帽子等。
人员出入规范
洁净室进出程序
进入洁净室前，必须经过换鞋、更衣、洗手、消毒等程序，确保洁净室的洁净度。
行为规范
在洁净室内，必须遵守一系列行为规范，如禁止吸烟、饮食、触摸面部等，以减少污染。
物品进出规定
物品进入程序
进入洁净室的物品必须经过净化处理，如擦拭、清洗、消毒等，以消除表面污染。
洁净室专用物品
物品存放规范
洁净室内使用的物品必须是洁净室专用的，不能与非洁净物品混用。
洁净室内的物品必须存放在指定的位置，不能随意放置，以保持洁净室的整洁和洁净度。
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03
洁净室环境控制
空气洁净度
洁净室内空气中的尘埃粒子数需控制在规定范围内，通常采用高效过滤器实现。
气流组织
保证洁净室内气流分布合理，避免涡流和死角，确保洁净度。
空气压力
洁净室需保持正压，防止外部污染空气进入。
有害气体控制
需严格控制洁净室内有害气体的浓度，如氨气、氯气等。
洁净室空气质量要求
空调系统工作原理
制冷系统
通过制冷剂在蒸发器、冷凝器等部件中的循环，实现空气的制冷。
加湿系统
通过电极式加湿器、超声波加湿器等，使洁净室湿度保持在规定范围内。
送风系统
将处理过的空气通过高效过滤器送入洁净室，保证空气洁净度。
排风系统
将洁净室内的空气排出，保持空气流通，同时防止污染。
湿度控制范围
湿度控制精度
湿度调节方式
湿度测量方法
洁净室湿度需控制在规定范围内，以满足生产工艺和设备要求。
通常采用干球温度、湿球温度、露点温度等方法进行测量。
需保证湿度控制精度，避免因湿度波动影响产品质量。
通过加湿、除湿等方式，实现对洁净室湿度的精确控制。
洁净室温湿度控制
04
洁净室设备与工具使用
风淋室
在洁净工作台上进行产品操作时，需确保工作台处于高效过滤状态。操作前，应提前开启工作台送风系统，确保工作台表面洁净度符合要求。操作时，应尽量避免工作台表面污染，并定期更换高效过滤器。
洁净工作台
洁净室专用搬运设备
洁净室内物品搬运需使用专用搬运设备，如洁净车、洁净传递箱等。使用时需确保设备洁净度符合要求，并按照规定路线和方式进行搬运，以减少污染风险。
进入洁净室前，必须通过风淋室吹除身上的灰尘和微生物。使用时需按照指示牌提示，正确开启风淋室设备和门，站在指定位置吹淋，并等风淋结束后按照规定路线进入洁净室。
洁净室特定设备使用方法
工具清洁与维护要求
清洁频率
根据工具的使用频率和洁净度要求，制定适当的清洁频率。一般应在每次使用前后进行清洁，必要时还需进行中间清洁。
清洁方法
采用洁净室专用的清洁剂和清洁工具进行清洁。对于不同材质的工具和设备，需选择适合的清洁剂，并按照规定的清洁方法进行清洁，避免清洁过程中的二次污染。
维护与保养
定期对工具和设备进行维护和保养，确保其正常运行和延长使用寿命。包括更换易损件、润滑部件、检查电气连接等，并做好相关记录。
工具防静电措施
防静电工具
在洁净室内使用防静电工具，如防静电手环、防静电脚套等，以减少静电产生和积累。
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