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气体中水分的测量与校准

一、概述

各种气体的生产和使用都要考虑其中水分的影响。水有时也被认为是一种“万能溶剂”，这是由

于它的独特的物理和化学性质所决定的。各个领域的研究与应用中都涉及到水分的分析，微电子工

业，石油，化工领域尤为突出。

工业生产气体中水分不同于其它气体杂质（O2，N2，CH4，CO2等），水分的存留与氢键有

关，氢键比其它作用的范德华力和偶极矩力表现出更强的吸引力，因此水分被固体表面吸附就很难

除去。一般用长时间吹扫的方法除掉气体中水分，使其达到1－2PPM含水量，即目前气体中水分

含量的指标＜－70℃更低含量水从气体中除去与测量需要更高的技术。

近半个世纪以来，在气体中水分测量尤其痕量水分测量方面做了大量的研究工作，不断的研究

出新的分析方法和相应的分析仪器。经典基准的镜面露点法，快速响应的电容法，绝对量值的电解

法。测量灵敏度高且范围宽广的压电石英振荡法，各种光学吸收法和气相色谱法等。在气体分析中

水分测量应用最多的是电容或水分析仪，其次是电解式水分析仪。国内外各生产厂商生产出众多型

号的水分析仪，本文浅谈一下常用水份分析仪的特点与使用。

二、气体中水分析仪

表1几种测量水分方法的灵敏度

（1）电容式水分析仪

电容式水分析仪响应快，灵敏度高，操作方便，经济实用，因而在工业气体生产与应用中倍受

欢迎，应用广泛。PANAMETRICS、SHAW、MICHELL和XENTAUR公司等都在生产各种系列

定型水分测量仪器，已在不同工艺中应用。

电容式水分仪原理都已清楚不再复述。下面着重介绍仪器性能和应用。

①电容式水份仪响应迅速

电容式湿度传感器响应迅速，从制作工艺原理看，由于氧化铝吸湿层上无其它吸湿材料氧化铝

层很薄，仅0.000075英寸，因此阻、容的响应直接与湿度有关。水蒸汽浓度从10000微克／升

降至10微克／升（－60℃~－25℃）仅需几分钟。另外当湿度变化很小时，输出信号的变化取

决于通过氧化层毛细孔的水分自由行程，因而使之响应很快。

必须于以说明，这种传感器响应快不存在仪器及管线的影响。正确的使用在被测气与传感器接

触前，输送管线所吸收的水分要吹除干净，否则所测结果不代表气体中实际含水的真实值。SHAW

公司的便携式SADP型和XENTAUK公司的XTR－80型露点仪待用时均在干燥气氛中保存，以

保证迅速响应。

②用空气校验与仪器测量值关系

SHAW公司的露点仪以空气校验。简单方便。校验与测量时间合理安排。会得到好的效果。用

空气校验实际是给传感器增湿。曾做过类似的增湿与吹湿试验。氮气使之含水由－90℃增湿到－

35℃时露点仪响应变化，再以干燥氮气吹除湿气响应变化，图2a、b示出。仪器与传感器同时被

增湿。仪器一但被增湿有较强的记忆效应，需要较长时间吹扫或在干燥气氛中除湿。因此在测量较

低含水量气体露点时，停止用空气校验，应在测量之前一日校验好仪器待用，严格讲操作无误仪器

不需要经常校验，一般半年校验一次即可。

图1传感器保护装置

a.增湿→时间(分)b吹湿→时间(分)

图2传感器增湿，吹湿时间关系

③仪器工作的稳定性与防尘埃及油分

气体洁净，操作无误仪器能稳定运行，曾有人做过实验在－65℃以下运行近两年，校正曲线仍

重现很好。

图3校准曲线比较

有的仪器一年后校验校正曲线偏离很大，主要由气体中存有看不见的微尘所致，湿度传感器为

无定型氧化铝，其孔径为70Aº，孔距160Aº左右，如若粉尘进入，将氧化铝微小孔堵塞致使吸

湿效率下降。测量结果偏干，因此测量水分所用管线要用内表面光滑的金属或聚四氟乙烯管，最好

为内抛光不锈钢管。

油污影响会使响应速度滞后，测量精度变差，虽然污染后可用苯和三氯乙烯清洗但仍不能恢复

到原始状态，因此，慎用于含油气体中水分测量，测量烃类气体中水分尤其要注意。

④传感器老化与防止。

SHAW传感器使用寿命至少保持10年，这就需要严谨的操作，如若操作不当，传感器长时间

暴露大气中使氧化铝表面慢慢形成水合物，结果对水蒸汽的吸附容量减少，引起传感器的电阻，电

容值下降，而导致传感器性能衰退