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850nmVCSEL制造工艺的关键技术与优化策略研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着信息技术的飞速发展，光通信和传感等领域对高性能光源的需求日益增长。垂直腔面发射激光器（Vertical-CavitySurface-EmittingLaser，VCSEL）作为一种新型的半导体激光器，因其独特的结构和优异的性能，在众多领域展现出了巨大的应用潜力，成为了研究的热点之一。而850nmVCSEL更是在光通信、传感等关键领域发挥着不可或缺的重要作用。

在光通信领域，随着云计算、大数据、物联网以及5G通信等技术的蓬勃发展，数据中心的流量呈现出爆发式增长。这对短距离光互连技术提出了更