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硅微压电超声换能器及其一维阵：原理、技术与应用的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，超声技术作为一种重要的非侵入式检测与成像手段，广泛应用于医疗、工业、材料科学等众多领域。硅微压电超声换能器及其一维阵作为超声技术的关键组成部分，凭借其独特的优势，在这些领域中发挥着不可或缺的作用。

硅微压电超声换能器基于压电效应，能够实现电能与声能之间的高效转换。压电效应是指某些材料在受到机械应力作用时会产生电荷，反之，当施加电场时则会发生机械形变。这种特性使得硅微压电超声换能器在超声发射和接收方面表现出卓越的性能。其利用压电材料的逆压电效应将电信号转换为超声信号发射出去，又通