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ICS29.045
H80/84
团体标准
T/IAWBS×××-×××
代替T/IAWBS（替代号）
金刚石单晶片X射线双晶摇
摆曲线半高宽测试方法
Testmethodforfullwidthathalfmaximumof
doublecrystalX-rayrockingcurveofdiamond
singlecrystalsubstrate
（征求意见稿）
××××-××-××发布××××-××-××实施
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟发布
T/IAWBSXXX—XXXX
前 言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规
则》的规定起草。
请注意本文件中的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别这些专利的
责任。
本文件由中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟归口。
本文件起草单位：中国科学院半导体研究所，北京三平泰克科技有限责任公司，北京
聚睿众邦科技有限公司，吉林大学。
本文件主要起草人：XXXXX。
本文件为首次制定。
II
T/IAWBSXXX—XXXX
金刚石单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
1范围
本文件规定了利用双晶X射线衍射仪测试金刚石单晶片摇摆曲线半高宽的方法。
本文件适用于高温高压法、化学气相沉积法和其它方法生长制备的金刚石单晶片，对前述单晶片进行
化学或机械抛光后的样品同样也适用于此方法。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，
仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文
件。
GB/T14264半导体材料术语
GB/T32188氮化镓单晶衬底片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
3术语和定义
GB/T14264和GB/T32188界定的术语和定义适用于本文件。
4测试原理
4.1X射线衍射原理
单晶的原子以三维周期性结构排列，可以看做原子排列于空间垂直距离为d的一系列平行平面所形成，
当一束平行的单色X射线射入该平面上，且X射线照在相邻平面之间的光程差为其波长的整数倍即n倍时，
经相邻平面原子散射后的X射线相互干涉，就会产生衍射（反射）。当X射线入射束与衍射平面间的夹角θ、
X射线波长λ、晶面间距d及衍射级数n同时满足布拉格定理2dsinθnλ时，X射线衍射束强度将达到最大值，
此时的θ被称为布拉格角，记作θ，如图1所示。
B
图1X射线衍射原理图
1
T/IAWBSXXX—XXXX
4.2X射线衍射摇摆曲线测试原理
X射线衍射摇摆曲线用来表征平行X射线入射束被样品中某一特定晶面反射后其衍
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