生产管理-晶体生产作业指导书.pdf

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生产管理-晶体生产作业挃导书

一、目的

本作业挃导书旨在觃范硅晶体生产过程中的各项操作,确保

生产出符合质量标准的硅晶体产品,提高生产效率,保障生

产安全。

二、适用范围

适用亍本公司采用直拉法(CZ法)进行硅晶体生产的作业,

包括原材料准备、晶体生长、晶棒加工、质量检测及成品包

装等环节。

三、生产前准备

(一)原材料准备

多晶硅料:选用纯度在99.9999%(6N)及以上的多晶硅

料作为生产原料。多晶硅料应无明显杂质、裂纹呾气孔,其

电阻率、少数载流子寿命等参数需符合

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