原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
吴扎拉森讲授
-1
-1-
2025-3-26
309效劳理念：“一切为了便利大家学习：！
复原、氢化培训教材
一、V1500单元〔多晶硅沉积单元〕的工序划分TCS蒸发T1200/1201
复原T100/101
钟罩清洗T800/801
硅芯、硅棒化学腐蚀及洗涤T400废气处理T1000
STC蒸发T1100/1101氢化T200/201
冷却水单元T901供电单元
二、主要设备
三氯氢硅〔TCS〕蒸发器 4个
气体混合器 18个(复原炉)、9个(氢化炉)
复原炉 18台
四氯化硅〔STC〕蒸发器 4个
氢化炉 9台
三、工艺流程描述TC
专注地铁、铁路、市政领域安全管理资料的定制、修改及润色，本人已有7年专业领域工作经验，可承接安全方案、安全培训、安全交底、贯标外审、公路一级达标审核及安全生产许可证延期资料编制等工作，欢迎大家咨询~
文档评论（0）