三氯氢硅资料.docx

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第三讲三氯氢硅资料

第三讲 三氯氢硅合成

目 录

,原料工业硅粉简介

,三氯氢硅的主要性质

,与水反响

,热分解

,与有机物反响

,三氯氢硅合成

,反响原理

,反响过程温度掌握

,杂质发生反响

,三氯氢硅合成炉的进展与改进

,沸腾床〔流化床〕技术

,沸腾床的形成及流体力学原理

,沸腾床的传热

,沸腾床的构造及工艺技术要求

,沸腾床的设计

,影响三氯氢硅合成效率的几个重要因素

,反响温度

,氧与水份的影响

,游离氯的掌握

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,硅粉料层高度与HCL流量

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,三氯氢硅工艺掌握

,干法除尘和湿法除尘工艺简介

,尾气回收工艺简介

,湿法除尘釜液回收工

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