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T_IAWBS 016-2022_碳化硅单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法.pdfVIP

T_IAWBS 016-2022_碳化硅单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法.pdf

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    ICS29.045

    H80/84

    团体标台准

    T/IAWBS016-2022

    平

    息

    信

    碳化硅单晶片X射线双晶摇

    摆曲线半高宽测试方法

    准

    TestMethodforFullWidthatHalfMaximum

    标

    ofDoubleCrystalX-rayRockingCurveof

    SiliconCarbideWafers

    体

    团

    国

    2022-03-17发布2022-03-24实施

    全

    中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟发布

    T/IAWBS016—2022

    目次台

    前言II

    1范围1

    2规范性引用文件1

    平

    3术语和定义1

    4测试原理1

    息

    4.1晶体X射线衍射原理1

    4.2摇摆曲线测试原理2

    4.3晶体摇摆曲线半高宽2

    信

    5测试仪器2

    5.1光路配置2

    5.2样品台2

    准

    5.3仪器校准3

    6干扰因素3

    7测试环境3

    标

    8测试样品3

    9测试程序3

    9.1放置样品3

    体

    9.2确定布拉格角3

    9.3调整样品3

    9.4测量点分布4

    团

    9.5摇摆曲线测量4

    9.6确定半高宽4

    10精密度4

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