电子气体 六氟化钨 编制说明.docx

《电子气体六氟化钨》

征求意见稿编制说明

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一、工作简况

1.1任务来源

电子级六氟化钨主要用于集成电路技术领域，是一种性能极佳的高纯气体材料。六氟化钨作为集成电路用量大、纯度要求高的基础材料，是国家重点鼓励发展的产品和产业，符合《“十四五”推动高质量发展的国家标准体系建设规划》中建设制造业高端化领域的材料标准的要求。电子级六氟化钨是唯一能稳定存在的钨的氟化物，具有极强的腐蚀性，可根据外界环境的变化表现出灵活的物化性能，被广泛应用于工业生产的各个领域，尤其在电子半导体工业中，六氟化钨的主要应用包括集成电路配线材、太阳能吸收器及X射线发射电极的制造、电子元器件原材料。

电子级六氟化钨作为一种高附加值精细化工产品，具有一定的技术、研发和应用价值。在早期阶段，由于技术限制，中国电子级六氟化钨的生产能力不足，其产品高度依赖进口。近年来，随着中国半导体产业的不断发展，电子六氟化钨的市场需求加快，。这为六氟化钨的生产企业提供了广阔的发展前景。

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.现行的电子用六氟化钨标准（GB/T32386-2015）已经执行10年，随着技术进步和市场变化，适用范围、技术要求及试验方法等内容都需要修订。2015版标准已无法满足现代集成电路产业的要求，

因此建议重新修订该标准。通过对标准的修订，旨在对生产和检测提供指导性作用，对下游半导体产业的发展提供质量保障。有利于提高我国高端电子材料自给能力，推动电子相关产业进步，扩大我国高纯电子材料对外影响力，有效服务于国家战略需求。

根据国标委发〔2024〕60号文，国家标准化管理委员会于2024年下达了修订计划，修订计划号：T-469。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出，全国半导体设备和材料标准化技术委员气体分会执行。

1.2工作过程的说明

1.2.1起草阶段

2024年国家标准化管理委员会下达了〔2024〕60号文，《电子气体六氟化钨》正式立项，标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员气体分会归口。为保证项目顺利实施，全国半导体设备和材料标准化技术委员气体分会组织昊华气体有限公司、福建德尔科技股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江省化工研究院有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、西南化工研究设计院有限公司等相关单位做了大量的前期调研及草案起草工作。

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标准起草小组首先开始搜集相关的资料，国际半导体设备与材料组织（SEMI）制定的国际工业标准中，现行六氟化钨标准是：SEMIC3.26-0301《瓶装六氟化钨标准，纯度99.8%》、SEMIC3.52-0200《瓶装六氟化钨标准，纯度99.996%》，国外几大生产六氟化钨的企业标准可达到99.999％~99.9999％。起草小组对国际、国内六氟化钨产品生产情况进行了深入调研和分析，将国外产品的技术标准和国内实际生产情况相结合，于2025年2月份提出了标准的讨论稿。2025年4月，标准起草小组在线上召开标准讨论会，广泛征求生产企业的意见。在此次讨论会上，专家们就讨论稿的基本结构、范围、技术指标、检验方法等进行了认真的讨论。提出了如下的意见：

（1）六氟化钨制备方法基本为金属钨与氟气反应制备，因此建议适用范围修改为以氟与钨为原料提纯制备。

（2）将标准正文表1中项目名称中的“/10-2”放入技术指标一栏，并修改为“×10-2”，将项目名称中的“/10-6”放入技术指标一栏，并修改为“×10-6”。

（3）表1中按纯度不同分级别。

（4）建议将测定四氟化硅的仲裁法修改为傅里叶变换红外光谱法。

（5）开展测定方法的验证试验。

1.2.2征求意见阶段

2025年5月，起草小组根据2025年2月工作组会议讨论的意见修改并提出了征求意见稿，在“全国标准信息公共服务平台”、全国气体标准化网站、以及发送主要生产、经销、使用、科研、检验等单位及大专院校，面向全社会广泛征集修改意见。

二国家标准编制原则和确定标准主要内容

起草小组参照了国外先进企业技术标准，做了大量的实验工作，制定出了技术指标和检验方法，现将有关情况说明如下：

2.1标准名称

2021年7月，国家标准委下达了国家标准体系优化试点工作任务，根据工作任务的要求，气体分会本对电子气体领域的标准体系情况情况进行梳理、评估、优化和重构，形成了“1+6”的成果模式，即构建了一个标准体系，形成了六个标准清单（整合一批、提出一批、修订一批、废